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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？
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人族首领

版主 (知名作家)

人族首领

优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
断面TEM或者刻蚀XPS应该可以测的出来

[ 发自小木虫客户端 ]
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11楼2014-10-02 11:21:27
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
旋涂法制备的薄膜，表面粗糙度已经超过几个纳米了，用台阶仪根本测不出来。AFM也很难测出来，AFM在测试范围小于100 nm时，对粗糙度的要求也很高，旋涂法制备的薄膜我认为达不到AFM的要求。如果你确定用旋涂法制备出了几个纳米的连续致密层状结构的薄膜，建议用HRTEM去测试截面样品，可以测得厚度，但是由于没有标准的垂直度参照物，所以测试的厚度会有偏差。一般小于10%。
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12楼2014-10-02 11:21:39
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ju文龙

金虫 (小有名气)

博士在读
AFM,还能测粗糙度

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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为了心中的美好，不妥协直到变老
13楼2014-10-03 12:40:16
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
台阶仪到十几纳米的误差太大了，afm可能靠谱些

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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14楼2014-10-03 17:16:38
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1989千年雪

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

我们实验室是把样品从中间切断，用扫描电子显微镜SEM,测薄膜样品的截面，观察厚度的。
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每天争取让自己有所收获！
15楼2014-10-05 10:34:07
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cz.87101

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

膜厚测试太简单了吧。。。。。

1、台阶仪：顾名思义，需要有台阶，旋涂的可以用胶带做出一个台阶，但是这么薄做出的台阶也是不准的，台阶仪的精度也不是很高，基本上几个纳米厚测试都不准，所以这个方法只能试试，不能认定就是这么厚；

2、椭偏仪：需要知道一些材料满足的色算方程，根据材料的不同建立模型，测试的精确度依赖于模型的建立合不合适，不合适的模型测试基本也会偏差很多；精度比较高，基本都在1A

3、SEM：切个截面看一下最直接，简单方便，精度也很高；主要难度在于制备样品时别把截面划伤

4、AFM测表面形貌用过，不知道测厚度是否可行，应该也需要有台阶；其他的就不太熟悉了
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只有能打死的蚊子，没有能打死的小强！而偶就是打不死的小强！
16楼2014-10-05 13:33:14
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王磊无敌2

木虫 (正式写手)

小生

【答案】应助回帖

原子力显微镜  透射电镜还有场发射电镜应该都可以  扫描电镜起码要十万倍吧

[ 发自小木虫客户端 ]
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有些东西在失去后才会珍惜，有些道理在犯了错误后才会明白，我们不是圣人，会犯错，但我们要有正视它的果敢与改正它的勇气
17楼2014-10-05 14:00:42
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0605102034

铜虫 (著名写手)
高分辨率的扫描电镜看侧面应该可以看出来吧！
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18楼2014-10-05 14:28:01
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zhxiaoqin
XRD
19楼2014-10-05 17:10:34
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bearjie

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

台阶仪的误差都10-20nm，是没法测的，用椭偏仪或者xrr测试比较准确。如果要用xrr，可和我讨论。我可以测

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20楼2014-10-05 18:46:12
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