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shenpingccut

新虫 (初入文坛)

[求助] 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来? 已有23人参与

在玻璃衬底上旋涂成膜,厚度<10nm,用什么方法能测出具体厚度来?多谢了!
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cz.87101

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

膜厚测试太简单了吧。。。。。

1、台阶仪:顾名思义,需要有台阶,旋涂的可以用胶带做出一个台阶,但是这么薄做出的台阶也是不准的,台阶仪的精度也不是很高,基本上几个纳米厚测试都不准,所以这个方法只能试试,不能认定就是这么厚;

2、椭偏仪:需要知道一些材料满足的色算方程,根据材料的不同建立模型,测试的精确度依赖于模型的建立合不合适,不合适的模型测试基本也会偏差很多;精度比较高,基本都在1A

3、SEM:切个截面看一下最直接,简单方便,精度也很高;主要难度在于制备样品时别把截面划伤

4、AFM测表面形貌用过,不知道测厚度是否可行,应该也需要有台阶;其他的就不太熟悉了
只有能打死的蚊子,没有能打死的小强!而偶就是打不死的小强!
16楼2014-10-05 13:33:14
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洗脸

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
扫描电镜或者透射电镜也许可以

[ 发自小木虫客户端 ]
从容
2楼2014-10-01 13:30:35
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chrishare

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用AFM吧... 电镜扫截面应该也可以  台阶仪
3楼2014-10-01 14:47:05
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
椭偏仪-利用材料的折射率不同可以测试
4楼2014-10-01 23:39:16
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