| 查看: 7422 | 回复: 35 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？ 已有23人参与
|
|||
| 在玻璃衬底上旋涂成膜，厚度<10nm，用什么方法能测出具体厚度来？多谢了！ |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有67人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
cz.87101
木虫 (正式写手)
- 应助: 27 (小学生)
- 金币: 2688.7
- 散金: 970
- 红花: 75
- 帖子: 924
- 在线: 642小时
- 虫号: 1047953
- 注册: 2010-06-26
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
|
膜厚测试太简单了吧。。。。。 1、台阶仪：顾名思义，需要有台阶，旋涂的可以用胶带做出一个台阶，但是这么薄做出的台阶也是不准的，台阶仪的精度也不是很高，基本上几个纳米厚测试都不准，所以这个方法只能试试，不能认定就是这么厚； 2、椭偏仪：需要知道一些材料满足的色算方程，根据材料的不同建立模型，测试的精确度依赖于模型的建立合不合适，不合适的模型测试基本也会偏差很多；精度比较高，基本都在1A 3、SEM：切个截面看一下最直接，简单方便，精度也很高；主要难度在于制备样品时别把截面划伤 4、AFM测表面形貌用过，不知道测厚度是否可行，应该也需要有台阶；其他的就不太熟悉了 |
16楼2014-10-05 13:33:14
洗脸
金虫 (正式写手)
- 应助: 7 (幼儿园)
- 金币: 1507.7
- 散金: 40
- 红花: 3
- 帖子: 412
- 在线: 78小时
- 虫号: 2400443
- 注册: 2013-04-04
- 性别: MM
- 专业: 有机合成
2楼2014-10-01 13:30:35
chrishare
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 307 (大学生)
- 金币: 20048.1
- 红花: 8
- 沙发: 11
- 帖子: 3751
- 在线: 314.1小时
- 虫号: 1558791
- 注册: 2012-01-01
- 专业: 光学
3楼2014-10-01 14:47:05
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
4楼2014-10-01 23:39:16
