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yanzijing

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
30楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-10-07 14:26:53
透明的椭偏最省事,不透明的sem吧,200nm已经足够厚了...

透明鱼不透明怎么界定?另外,在SEM下看了一下,二次电子像和背散射都感觉误差太大,对焦很成问题,加高了电压,还是感觉很难分辨清楚
kakakakakka
31楼2014-10-07 17:45:32
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
31楼: Originally posted by yanzijing at 2014-10-07 17:45:32
透明鱼不透明怎么界定?另外,在SEM下看了一下,二次电子像和背散射都感觉误差太大,对焦很成问题,加高了电压,还是感觉很难分辨清楚...

椭偏是靠光打过去得到信号的,所以要求膜透光,二次电子像分辨率高很多的,背散射分辨率比较低,对焦成问题这个不正常,提高电压如果更成问题需要考虑导电性问题,建议蒸镀导电膜,另外就是固定的更结实一点
32楼2014-10-07 18:11:09
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dwysd

木虫 (著名写手)

引用回帖:
29楼: Originally posted by yanzijing at 2014-10-07 11:26:30
大神,我磁控溅射的薄膜,基底硅片,大约200nm左右,有什么方法侧厚度准确性高?...

如果是抛光过的Si片表面制备200 nm厚度的致密薄膜,用普通的台阶仪测试厚度就可以了,但是要在制备薄膜的时候制备好台阶,如果台阶不陡峭,测试时不容易区分台阶的边界。一般可以用一块小的Si片碎片放在Si片上,就可以制备出较好的台阶。
33楼2014-10-09 10:07:28
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elleren99

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

SIMS 二次离子质谱
34楼2014-12-04 21:35:51
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四口方天

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

厚度太小,台阶仪不合适。椭偏仪应该可以,但是需要是透明薄膜。且折射率和玻璃要有一定的差异才行。对膜层表面也有要求的啊。你多咨询专业大师问问吧。
35楼2015-03-04 17:08:25
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小鸠鸠

新虫 (小有名气)

引用回帖:
20楼: Originally posted by bearjie at 2014-10-05 18:46:12
台阶仪的误差都10-20nm,是没法测的,用椭偏仪或者xrr测试比较准确。如果要用xrr,可和我讨论。我可以测

您好,您可以测XRR 吗?我们这里有测试需要,不知可否向您咨询一下呢?
36楼2018-05-07 20:24:34
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