24小时热门版块排行榜    

查看: 7363  |  回复: 35

yanzijing

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
30楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-10-07 14:26:53
透明的椭偏最省事,不透明的sem吧,200nm已经足够厚了...

透明鱼不透明怎么界定?另外,在SEM下看了一下,二次电子像和背散射都感觉误差太大,对焦很成问题,加高了电压,还是感觉很难分辨清楚
kakakakakka
31楼2014-10-07 17:45:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
31楼: Originally posted by yanzijing at 2014-10-07 17:45:32
透明鱼不透明怎么界定?另外,在SEM下看了一下,二次电子像和背散射都感觉误差太大,对焦很成问题,加高了电压,还是感觉很难分辨清楚...

椭偏是靠光打过去得到信号的,所以要求膜透光,二次电子像分辨率高很多的,背散射分辨率比较低,对焦成问题这个不正常,提高电压如果更成问题需要考虑导电性问题,建议蒸镀导电膜,另外就是固定的更结实一点
32楼2014-10-07 18:11:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dwysd

木虫 (著名写手)

引用回帖:
29楼: Originally posted by yanzijing at 2014-10-07 11:26:30
大神,我磁控溅射的薄膜,基底硅片,大约200nm左右,有什么方法侧厚度准确性高?...

如果是抛光过的Si片表面制备200 nm厚度的致密薄膜,用普通的台阶仪测试厚度就可以了,但是要在制备薄膜的时候制备好台阶,如果台阶不陡峭,测试时不容易区分台阶的边界。一般可以用一块小的Si片碎片放在Si片上,就可以制备出较好的台阶。
33楼2014-10-09 10:07:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

elleren99

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

SIMS 二次离子质谱
34楼2014-12-04 21:35:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

四口方天

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

厚度太小,台阶仪不合适。椭偏仪应该可以,但是需要是透明薄膜。且折射率和玻璃要有一定的差异才行。对膜层表面也有要求的啊。你多咨询专业大师问问吧。
35楼2015-03-04 17:08:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小鸠鸠

新虫 (小有名气)

引用回帖:
20楼: Originally posted by bearjie at 2014-10-05 18:46:12
台阶仪的误差都10-20nm,是没法测的,用椭偏仪或者xrr测试比较准确。如果要用xrr,可和我讨论。我可以测

您好,您可以测XRR 吗?我们这里有测试需要,不知可否向您咨询一下呢?
36楼2018-05-07 20:24:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 shenpingccut 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 东南大学364求调剂 +4 JasonYuiui 2026-03-15 4/200 2026-03-16 08:36 by Linda Hu
[基金申请] NSFC申报书里申请人简历中代表性论著还需要在申报书最后的附件里面再上传一遍吗 20+5 NSFC2026我来了 2026-03-10 14/700 2026-03-15 23:53 by 不负韶华的虎
[考研] 274求调剂 +4 时间点 2026-03-13 4/200 2026-03-15 15:29 by Rambo13
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
[考研] 材料与化工(0856)304求B区调剂 +7 邱gl 2026-03-10 11/550 2026-03-14 12:18 by 邱gl
[考研] 211本,11408一志愿中科院277分,曾在中科院自动化所实习 +3 Losir 2026-03-12 3/150 2026-03-14 12:11 by 热情沙漠
[考研] 学硕285求调剂 +13 Wisjxn 2026-03-12 46/2300 2026-03-14 10:33 by JourneyLucky
[基金申请] 有必要更换申报口吗 20+3 fannyamoy 2026-03-11 3/150 2026-03-14 00:52 by zhanghaozhu
[考研] 271求调剂 +10 生如夏花… 2026-03-11 10/500 2026-03-14 00:35 by 卖报员小雨
[考研] 材料工程,326分,求调剂 +6 KRSLSR 2026-03-10 6/300 2026-03-13 23:47 by JourneyLucky
[考研] 336求调剂 +6 Iuruoh 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:06 by JourneyLucky
[考研] 285化工学硕求调剂(081700) +6 柴郡猫_ 2026-03-12 6/300 2026-03-13 20:46 by hmn_wj
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 一志愿211化学学硕310分求调剂 +8 努力奋斗112 2026-03-12 9/450 2026-03-13 15:41 by JourneyLucky
[论文投稿] 投稿问题 5+4 星光灿烂xt 2026-03-12 6/300 2026-03-13 14:17 by god_tian
[考研] 070303一志愿西北大学学硕310找调剂 +3 d如愿上岸 2026-03-12 5/250 2026-03-13 10:56 by houyaoxu
[考研] 282分材料专业求调剂院校 +18 枫桥ZL 2026-03-09 25/1250 2026-03-13 10:47 by 白夜悠长
[考研] 268求调剂 +4 好运连绵不绝 2026-03-12 4/200 2026-03-13 10:45 by hyswxzs
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +4 薛云鹏 2026-03-13 4/200 2026-03-13 10:40 by 学员8dgXkO
[考研] 收调剂 +7 调剂的考研学生 2026-03-10 7/350 2026-03-10 17:57 by 麦茶汤圆
信息提示
请填处理意见