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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？
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yanzijing

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
30楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-10-07 14:26:53
透明的椭偏最省事，不透明的sem吧，200nm已经足够厚了...

透明鱼不透明怎么界定？另外，在SEM下看了一下，二次电子像和背散射都感觉误差太大，对焦很成问题，加高了电压，还是感觉很难分辨清楚
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kakakakakka
31楼2014-10-07 17:45:32
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
31楼: Originally posted by yanzijing at 2014-10-07 17:45:32
透明鱼不透明怎么界定？另外，在SEM下看了一下，二次电子像和背散射都感觉误差太大，对焦很成问题，加高了电压，还是感觉很难分辨清楚...

椭偏是靠光打过去得到信号的，所以要求膜透光，二次电子像分辨率高很多的，背散射分辨率比较低，对焦成问题这个不正常，提高电压如果更成问题需要考虑导电性问题，建议蒸镀导电膜，另外就是固定的更结实一点
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32楼2014-10-07 18:11:09
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dwysd

木虫 (著名写手)
引用回帖:
29楼: Originally posted by yanzijing at 2014-10-07 11:26:30
大神，我磁控溅射的薄膜，基底硅片，大约200nm左右，有什么方法侧厚度准确性高？...

如果是抛光过的Si片表面制备200 nm厚度的致密薄膜，用普通的台阶仪测试厚度就可以了，但是要在制备薄膜的时候制备好台阶，如果台阶不陡峭，测试时不容易区分台阶的边界。一般可以用一块小的Si片碎片放在Si片上，就可以制备出较好的台阶。
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33楼2014-10-09 10:07:28
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elleren99

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

SIMS 二次离子质谱
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34楼2014-12-04 21:35:51
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四口方天

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

厚度太小，台阶仪不合适。椭偏仪应该可以，但是需要是透明薄膜。且折射率和玻璃要有一定的差异才行。对膜层表面也有要求的啊。你多咨询专业大师问问吧。
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35楼2015-03-04 17:08:25
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小鸠鸠

新虫 (小有名气)
引用回帖:
20楼: Originally posted by bearjie at 2014-10-05 18:46:12
台阶仪的误差都10-20nm，是没法测的，用椭偏仪或者xrr测试比较准确。如果要用xrr，可和我讨论。我可以测

您好，您可以测XRR 吗？我们这里有测试需要，不知可否向您咨询一下呢？
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36楼2018-05-07 20:24:34
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