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shenpingccut

新虫 (初入文坛)

[求助] 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来? 已有23人参与

在玻璃衬底上旋涂成膜,厚度<10nm,用什么方法能测出具体厚度来?多谢了!
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dwysd

木虫 (著名写手)

引用回帖:
29楼: Originally posted by yanzijing at 2014-10-07 11:26:30
大神,我磁控溅射的薄膜,基底硅片,大约200nm左右,有什么方法侧厚度准确性高?...

如果是抛光过的Si片表面制备200 nm厚度的致密薄膜,用普通的台阶仪测试厚度就可以了,但是要在制备薄膜的时候制备好台阶,如果台阶不陡峭,测试时不容易区分台阶的边界。一般可以用一块小的Si片碎片放在Si片上,就可以制备出较好的台阶。
33楼2014-10-09 10:07:28
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查看全部 36 个回答

洗脸

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
扫描电镜或者透射电镜也许可以

[ 发自小木虫客户端 ]
从容
2楼2014-10-01 13:30:35
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chrishare

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用AFM吧... 电镜扫截面应该也可以  台阶仪
3楼2014-10-01 14:47:05
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
椭偏仪-利用材料的折射率不同可以测试
4楼2014-10-01 23:39:16
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