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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？
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shenpingccut

新虫 (初入文坛)

[求助] 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？ 已有23人参与

在玻璃衬底上旋涂成膜，厚度<10nm，用什么方法能测出具体厚度来？多谢了！
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1楼 2014-10-01 10:49:23
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
29楼: Originally posted by yanzijing at 2014-10-07 11:26:30
大神，我磁控溅射的薄膜，基底硅片，大约200nm左右，有什么方法侧厚度准确性高？...

透明的椭偏最省事，不透明的sem吧，200nm已经足够厚了
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30楼2014-10-07 14:26:53
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洗脸

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
扫描电镜或者透射电镜也许可以

[ 发自小木虫客户端 ]
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从容
2楼2014-10-01 13:30:35
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chrishare

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用AFM吧... 电镜扫截面应该也可以  台阶仪
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3楼2014-10-01 14:47:05
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
椭偏仪－利用材料的折射率不同可以测试
赞一下(3人) 回复此楼
4楼2014-10-01 23:39:16
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