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shenpingccut

新虫 (初入文坛)

[求助] 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来? 已有23人参与

在玻璃衬底上旋涂成膜,厚度<10nm,用什么方法能测出具体厚度来?多谢了!
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yanzijing

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
12楼: Originally posted by dwysd at 2014-10-02 11:21:39
旋涂法制备的薄膜,表面粗糙度已经超过几个纳米了,用台阶仪根本测不出来。AFM也很难测出来,AFM在测试范围小于100 nm时,对粗糙度的要求也很高,旋涂法制备的薄膜我认为达不到AFM的要求。如果你确定用旋涂法制备出 ...

大神,我磁控溅射的薄膜,基底硅片,大约200nm左右,有什么方法侧厚度准确性高?
kakakakakka
29楼2014-10-07 11:26:30
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洗脸

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
扫描电镜或者透射电镜也许可以

[ 发自小木虫客户端 ]
从容
2楼2014-10-01 13:30:35
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chrishare

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用AFM吧... 电镜扫截面应该也可以  台阶仪
3楼2014-10-01 14:47:05
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
椭偏仪-利用材料的折射率不同可以测试
4楼2014-10-01 23:39:16
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