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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？
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shenpingccut

新虫 (初入文坛)

[求助] 几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？ 已有23人参与

在玻璃衬底上旋涂成膜，厚度<10nm，用什么方法能测出具体厚度来？多谢了！
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1楼 2014-10-01 10:49:23
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yanzijing

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by dwysd at 2014-10-02 11:21:39
旋涂法制备的薄膜，表面粗糙度已经超过几个纳米了，用台阶仪根本测不出来。AFM也很难测出来，AFM在测试范围小于100 nm时，对粗糙度的要求也很高，旋涂法制备的薄膜我认为达不到AFM的要求。如果你确定用旋涂法制备出 ...

大神，我磁控溅射的薄膜，基底硅片，大约200nm左右，有什么方法侧厚度准确性高？
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kakakakakka
29楼2014-10-07 11:26:30
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洗脸

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
扫描电镜或者透射电镜也许可以

[ 发自小木虫客户端 ]
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从容
2楼2014-10-01 13:30:35
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chrishare

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用AFM吧... 电镜扫截面应该也可以  台阶仪
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3楼2014-10-01 14:47:05
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
椭偏仪－利用材料的折射率不同可以测试
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4楼2014-10-01 23:39:16
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