| 查看: 7978 | 回复: 35 | ||||
[求助]
几个纳米厚的薄膜怎么测出厚度来？ 已有23人参与
|
||||
| 在玻璃衬底上旋涂成膜，厚度<10nm，用什么方法能测出具体厚度来？多谢了！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 SPR表面等离子体共振 |
» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有184人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- help!做薄膜材料的兄弟姐妹们有需要测量膜层厚度的吗？请说出你们的情况哦
已经有52人回复
- 纳米级厚度的高分子薄膜如何降低粗糙度
已经有9人回复
- 高聚物薄膜如何测膜厚呢
已经有12人回复
- XRD可以检测到纳米薄膜厚的晶体吗？
已经有6人回复
- 请问XRD测试薄膜的最小厚度需要多少？
已经有4人回复
- 薄膜XRD需要多厚？
已经有15人回复
- 关于台阶仪测量厚度的问题
已经有8人回复
- 请问用AFM测试纳米薄膜的摩擦性能怎样分析呢？
已经有22人回复
- 求助 薄膜材料尺寸 用什么方法可以知道做出的是纳米级别的呢
已经有11人回复
- 请问大概200nm的薄膜，XRD怎么表征，我想知道其是什么物相，晶型是什么
已经有28人回复
- 真空镀膜厚度问题
已经有6人回复
- 【请教】如何测微米纳米量级薄膜的确切厚度
已经有7人回复
- 【求助】如何控制成膜厚度
已经有10人回复
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
4楼2014-10-01 23:39:16
vincentwz
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 70 (初中生)
- 金币: 14721.7
- 散金: 1899
- 红花: 4
- 帖子: 1652
- 在线: 1292.8小时
- 虫号: 645650
- 注册: 2008-11-04
- 专业: 物理电子学
14楼2014-10-03 17:16:38
洗脸
金虫 (正式写手)
- 应助: 7 (幼儿园)
- 金币: 1507.7
- 散金: 40
- 红花: 3
- 帖子: 412
- 在线: 78小时
- 虫号: 2400443
- 注册: 2013-04-04
- 性别: MM
- 专业: 有机合成
2楼2014-10-01 13:30:35
dwysd
木虫 (著名写手)
- 应助: 66 (初中生)
- 金币: 3067.2
- 散金: 310
- 红花: 8
- 帖子: 1975
- 在线: 589.2小时
- 虫号: 538838
- 注册: 2008-04-03
- 专业: 半导体材料
12楼2014-10-02 11:21:39
cz.87101
木虫 (正式写手)
- 应助: 27 (小学生)
- 金币: 2688.7
- 散金: 970
- 红花: 75
- 帖子: 924
- 在线: 642小时
- 虫号: 1047953
- 注册: 2010-06-26
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
|
膜厚测试太简单了吧。。。。。 1、台阶仪：顾名思义，需要有台阶，旋涂的可以用胶带做出一个台阶，但是这么薄做出的台阶也是不准的，台阶仪的精度也不是很高，基本上几个纳米厚测试都不准，所以这个方法只能试试，不能认定就是这么厚； 2、椭偏仪：需要知道一些材料满足的色算方程，根据材料的不同建立模型，测试的精确度依赖于模型的建立合不合适，不合适的模型测试基本也会偏差很多；精度比较高，基本都在1A 3、SEM：切个截面看一下最直接，简单方便，精度也很高；主要难度在于制备样品时别把截面划伤 4、AFM测表面形貌用过，不知道测厚度是否可行，应该也需要有台阶；其他的就不太熟悉了 |
16楼2014-10-05 13:33:14
bearjie
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3361.8
- 散金: 1844
- 帖子: 626
- 在线: 147.9小时
- 虫号: 445830
- 注册: 2007-10-28
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
20楼2014-10-05 18:46:12
chrishare
至尊木虫 (职业作家)
- 应助: 307 (大学生)
- 金币: 20048.1
- 红花: 8
- 沙发: 11
- 帖子: 3751
- 在线: 314.1小时
- 虫号: 1558791
- 注册: 2012-01-01
- 专业: 光学
3楼2014-10-01 14:47:05
baoermu
木虫 (正式写手)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 4776.9
- 散金: 1025
- 红花: 2
- 帖子: 768
- 在线: 181.4小时
- 虫号: 873755
- 注册: 2009-10-16
- 性别: MM
- 专业: 配位化学
5楼2014-10-02 09:45:31
lqllinqiaoli
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 14 (小学生)
- 金币: 15778.5
- 散金: 794
- 红花: 19
- 帖子: 2432
- 在线: 345.5小时
- 虫号: 364633
- 注册: 2007-05-08
- 专业: 金属结构材料
6楼2014-10-02 09:56:56
7楼2014-10-02 10:07:43
hitlidy
木虫 (正式写手)
- 应助: 11 (小学生)
- 金币: 6233.7
- 散金: 816
- 帖子: 386
- 在线: 738.3小时
- 虫号: 1205657
- 注册: 2011-02-18
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
8楼2014-10-02 10:14:28
basafan
木虫 (正式写手)
- 应助: 30 (小学生)
- 金币: 1723.8
- 散金: 228
- 红花: 4
- 帖子: 523
- 在线: 294.5小时
- 虫号: 357256
- 注册: 2007-04-27
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
9楼2014-10-02 10:29:38
神魔流转
木虫 (著名写手)
- MN-EPI: 4
- 应助: 178 (高中生)
- 贵宾: 0.135
- 金币: 4468.8
- 散金: 5988
- 红花: 68
- 帖子: 1586
- 在线: 1149.6小时
- 虫号: 322089
- 注册: 2007-03-11
- 专业: 代数学
10楼2014-10-02 10:50:30
投票:
10