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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 200nm厚度薄膜的深度剖析
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kevin123581

金虫 (正式写手)

[交流] 200nm厚度薄膜的深度剖析

对于200nm （400nm/ 800nm）左右的薄膜做深度剖析什么设备比较合适呢？
我想要测量的其实主要是物质在深度方向的含量比。
比如C和Si.  我用过cold SEM+EDS，但是对于200nm的薄膜，图像移动比较厉害，测量完全不准确；
tof-sims可做深度分析，但是貌似含量比也不好弄。
更复杂一点的是，我薄膜由Si单质和SiO2组成，外加其他一些杂质，可有有办法区分Si和SiO2的含量比呢？


谢谢大家
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1楼 2015-01-08 16:08:31
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 石银东 at 2015-01-09 12:52:01
使用光学测量方面，主要是区分出界面来，椭偏仪就可以实现10层以上的薄膜测试。
你这是混在一块的，没有明确的界面，所以建议你试试别的方法。...

是的，就是很麻烦，所以后来用了tof-SIMS，但是貌似也不大好
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9楼2015-01-09 13:42:51
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dwysd

木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
kevin123581: 金币+1, 谢谢 2015-01-09 13:44:01
kevin123581: 金币+5, 谢谢，我去试下 2015-04-06 14:07:04
XPS自带的Ar离子枪对薄膜表面进行剥离，然后测试，就会得到元素就化学键结构随深度变化。
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2楼2015-01-08 16:48:41
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
kevin123581: 金币+1, 谢谢 2015-01-09 13:45:00
可以包埋、减薄，制成截面的TEM样品，然后STEM+EDS或者EELS。
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3楼2015-01-08 18:16:12
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
kevin123581: 金币+5, 谢谢 2015-01-09 13:48:26
kevin123581: 金币+5, 谢谢，我去试下 2015-04-06 14:07:41
离子枪结合XPS吧，SIMS不定量的，半定量用XPS，透射感觉意义不大，Si的话可以XPS看价态不同来区分
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4楼2015-01-08 20:05:50
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