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ijianhui

木虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
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专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] tio2靶材溅射后颜色变黑已有1人参与

我最近溅射tio2，本来是白色的，但是溅射之后就变成黑色的了，不知道怎么回事，请问哪位大神可以指点指点

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1楼 2014-12-21 10:04:29

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huihui2eat

银虫 (小有名气)

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二氧化钛失氧容易变成黑色，正常二氧化钛是4价的稳定状态，有的厂家在烧靶的过程中会失氧，所以做出来的二氧化钛靶材是黑色的

3楼2014-12-31 08:55:40

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ccsclver2008

新虫 (正式写手)

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专业: 催化化学

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ijianhui: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-12-21 17:39:35

二氧化钛的溅射会使其表面很容易产生氧空位，形成三价钛，从而导致颜色变黑

赞一下(1人)

干就最好，争就第一！

2楼2014-12-21 10:41:52

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