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ijianhui

木虫 (正式写手)

[求助] tio2靶材溅射后颜色变黑 已有1人参与

我最近溅射tio2,本来是白色的,但是溅射之后就变成黑色的了,不知道怎么回事,请问哪位大神可以指点指点
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

二氧化钛失氧容易变成黑色,正常二氧化钛是4价的稳定状态,有的厂家在烧靶的过程中会失氧,所以做出来的二氧化钛靶材是黑色的
3楼2014-12-31 08:55:40
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ccsclver2008

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ijianhui: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-12-21 17:39:35
二氧化钛的溅射会使其表面很容易产生氧空位,形成三价钛,从而导致颜色变黑
干就最好,争就第一!
2楼2014-12-21 10:41:52
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