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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 求推荐溶剂不同，显影液相同的两种光刻胶
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木星人士

新虫 (正式写手)

[求助] 求推荐溶剂不同，显影液相同的两种光刻胶 已有2人参与

如题，求推荐溶剂不同，显影液可以相同的两种光刻胶，最好是100nm厚的薄胶，谢谢
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1楼 2014-11-26 18:54:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:36:20
本帖内容被屏蔽
4楼2014-11-27 13:45:08
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
据我所知要么都相同，要么都不同。
你的目的是什么？也许有别的方法
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2楼2014-11-26 22:00:48
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木星人士

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-11-26 22:00:48
据我所知要么都相同，要么都不同。
你的目的是什么？也许有别的方法

能推荐常见的溶剂不同的正胶吗？我想把两种胶做成相邻的薄膜，一层是光刻胶的作用，另一层在上面充当透明介质层。显影这一步是在最后面，由于实验的需要才如此反常的考虑。

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3楼2014-11-26 23:19:30
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木星人士

新虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-11-27 13:45:08
哦，还是那个问题啊。你可以把双层胶工艺反过来用啊。先涂一层正胶，比如1813，再涂一层LOL，然后光刻，显影。
胶可以找苏州锐材买。...

我这儿有现成的PMGI SF9和s1850，不知用这两种胶来做可以不？晚上去尝试。可以用其他正性光刻胶，比如AR P 3170系列胶吗？

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5楼2014-11-27 17:02:51
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