应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 显影后光刻胶表面出现波纹，求助！！！
101/1返回列表
查看: 2812  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)

[求助] 显影后光刻胶表面出现波纹，求助！！！ 已有2人参与

各位大神好，
       我在蓝宝石上旋涂了400nm左右的RZJ307光刻胶，涂完后未看到图示的波纹状形貌，表面平整。但是光栅投影曝光后，经8‰NaOH显影10s后出现图示波纹，求解！！!谢谢！

显影后光刻胶表面出现波纹，求助！！！
样品-1.jpg
回复此楼

» 本帖@通知

@lee0803

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-10-14 15:57:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liuzhushifei: 金币+2, ★★★很有帮助, 感谢回复！ 2014-10-16 09:02:52
supernatural: 请不要打广告，特别是我们版的专家！ 2014-10-17 22:25:16
光栅面积有多大？覆盖整个硅片？
光刻胶溶解的不均匀。不同位置的光刻胶在显影时被洗掉了不一样的厚度。
你是从哪里买的这个胶？RZJ是瑞红的编号，但没有307啊。
赞一下 回复此楼
2楼2014-10-15 17:50:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-10-15 17:50:31
光栅面积有多大？覆盖整个硅片？
光刻胶溶解的不均匀。不同位置的光刻胶在显影时被洗掉了不一样的厚度。
你是从哪里买的这个胶？RZJ是瑞红的编号，但没有307啊。

光栅覆盖了整个片子！
溶解不均匀！你的意思是我显影之后光刻胶厚度不一样了？
对啊，是瑞红的胶，官网上没有，但是确实有307这个型号的胶。
赞一下 回复此楼
3楼2014-10-16 09:00:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by liuzhushifei at 2014-10-16 09:00:19
光栅覆盖了整个片子！
溶解不均匀！你的意思是我显影之后光刻胶厚度不一样了？
对啊，是瑞红的胶，官网上没有，但是确实有307这个型号的胶。...

光栅的话，做出来从外部观察，就是你拍出来的花图案，这一点是没啥问题的，很典型的。
但是这个花图案应该是比较均匀的规律图案，不同地方的颜色是一致的，或者是渐变的。而你那个颜色是斑驳的。所以胶溶解的不均匀是存在的，这导致了厚度的不均匀，所以看上去颜色斑驳。
不建议用瑞红的胶，虽然瑞红的30x系列在分辨率方面做的还好，而且很便宜，但是在形貌，灵敏度，稳定性方面还是很差。
赞一下 回复此楼
4楼2014-10-17 10:36:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-10-17 10:36:22
光栅的话，做出来从外部观察，就是你拍出来的花图案，这一点是没啥问题的，很典型的。
但是这个花图案应该是比较均匀的规律图案，不同地方的颜色是一致的，或者是渐变的。而你那个颜色是斑驳的。所以胶溶解的不均 ...

明白了，谢谢！
回复此楼
5楼2014-10-17 13:22:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
光栅有波纹是正常的。你做的是多大尺度的光栅结构？最好使用电镜或原子力显微镜做个图像，如果大尺寸光栅也可在显微镜下看看。
如果考虑换胶可站内联系下，我们这边有几种光刻胶可供选择。
赞一下 回复此楼
6楼2014-10-17 21:14:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2014-10-17 21:14:50
光栅有波纹是正常的。你做的是多大尺度的光栅结构？最好使用电镜或原子力显微镜做个图像，如果大尺寸光栅也可在显微镜下看看。
如果考虑换胶可站内联系下，我们这边有几种光刻胶可供选择。

周期650nm左右，电镜和原子力都看了，结构上没多大差别。没有做下一步的工艺，不知道波纹是否会对刻蚀产生影响。
赞一下 回复此楼
7楼2014-10-20 08:29:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by liuzhushifei at 2014-10-20 08:29:59
周期650nm左右，电镜和原子力都看了，结构上没多大差别。没有做下一步的工艺，不知道波纹是否会对刻蚀产生影响。...

也有可能这个波纹是由基片下面的桌面造成的，可以把基片换到其他位置看看。如果电镜和原子力得到结构上没什么差别，应该没什么问题，继续往下做吧
赞一下 回复此楼
8楼2014-10-20 21:49:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mengss

新虫 (初入文坛)
内容已删除
回复此楼
9楼2015-07-20 14:53:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mengss

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-10-17 10:36:22
光栅的话，做出来从外部观察，就是你拍出来的花图案，这一点是没啥问题的，很典型的。
但是这个花图案应该是比较均匀的规律图案，不同地方的颜色是一致的，或者是渐变的。而你那个颜色是斑驳的。所以胶溶解的 ...

你好，问一下，那中光刻胶会更好一些呢？请赐教，谢谢
赞一下 回复此楼
10楼2015-07-20 14:55:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 liuzhushifei 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 娱乐 +4 Tide man 2026-08-03 4/200 2026-08-04 11:51 by wgch518
[找工作] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 Ocx3OKOzGU4q 2026-08-03 6/300 2026-08-04 11:36 by MWRYsWbJw4DE
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 Ocx3OKOzGU4q 2026-08-03 7/350 2026-08-04 11:31 by MWRYsWbJw4DE
[基金申请] 面上提前没消息，有中的吗 +14 archvillain 2026-08-02 17/850 2026-08-04 09:46 by archvillain
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 f1dmPx051StA 2026-08-03 7/350 2026-08-04 09:31 by v1TJC4qJauAB
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 jRl3mE6ddZGq 2026-08-03 10/500 2026-08-04 09:26 by v1TJC4qJauAB
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 9/450 2026-08-04 09:17 by v1TJC4qJauAB
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +5 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 10/500 2026-08-04 09:15 by v1TJC4qJauAB
[基金申请] 系统今天又提示维护了，估计离放榜不远了 +12 winnerche 2026-07-29 16/800 2026-08-04 08:18 by Equinoxhua
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 6/300 2026-08-04 06:10 by k7OM8YghWbkC
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 jRl3mE6ddZGq 2026-08-03 6/300 2026-08-04 04:47 by k7OM8YghWbkC
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 7/350 2026-08-04 04:46 by k7OM8YghWbkC
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 8/400 2026-08-04 03:21 by k7OM8YghWbkC
[基金申请] 什么时候能放榜呀？ +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
[高分子] UV压敏胶开发 +3 ichall 2026-07-30 5/250 2026-08-03 14:40 by Sunrisepay
[基金申请] 面上再次挂了，太难了，躺也躺不了，倦也卷不过，小学校之殇！ +19 低垂的野花 2026-07-31 25/1250 2026-08-03 09:25 by gy116024
[基金申请] 2026年国自然面上资助率 +16 布布和一二 2026-07-30 22/1100 2026-08-03 09:20 by gy116024
[基金申请] 微信指数没变化，科研之友没阅读 +15 wangze12014 2026-07-28 19/950 2026-08-02 20:05 by 蔡棒棒菂
[考博] 2027年申博 50+3 射雕英雄胜 2026-07-30 3/150 2026-08-02 09:36 by lfy8008
[基金申请] 你们的时间戳变了吗 +3 archvillain 2026-07-30 4/200 2026-07-30 18:53 by levinzhwen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭