24小时热门版块排行榜    

查看: 2935  |  回复: 9
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)

[求助] 显影后光刻胶表面出现波纹,求助!!! 已有2人参与

各位大神好,
       我在蓝宝石上旋涂了400nm左右的RZJ307光刻胶,涂完后未看到图示的波纹状形貌,表面平整。但是光栅投影曝光后,经8‰NaOH显影10s后出现图示波纹,求解!!!谢谢!

显影后光刻胶表面出现波纹,求助!!!
样品-1.jpg
回复此楼

» 本帖@通知

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2014-10-17 21:14:50
光栅有波纹是正常的。你做的是多大尺度的光栅结构?最好使用电镜或原子力显微镜做个图像,如果大尺寸光栅也可在显微镜下看看。
如果考虑换胶可站内联系下,我们这边有几种光刻胶可供选择。

周期650nm左右,电镜和原子力都看了,结构上没多大差别。没有做下一步的工艺,不知道波纹是否会对刻蚀产生影响。
7楼2014-10-20 08:29:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liuzhushifei: 金币+2, ★★★很有帮助, 感谢回复! 2014-10-16 09:02:52
supernatural: 请不要打广告,特别是我们版的专家! 2014-10-17 22:25:16
光栅面积有多大?覆盖整个硅片?
光刻胶溶解的不均匀。不同位置的光刻胶在显影时被洗掉了不一样的厚度。
你是从哪里买的这个胶?RZJ是瑞红的编号,但没有307啊。
2楼2014-10-15 17:50:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-10-15 17:50:31
光栅面积有多大?覆盖整个硅片?
光刻胶溶解的不均匀。不同位置的光刻胶在显影时被洗掉了不一样的厚度。
你是从哪里买的这个胶?RZJ是瑞红的编号,但没有307啊。

光栅覆盖了整个片子!
溶解不均匀!你的意思是我显影之后光刻胶厚度不一样了?
对啊,是瑞红的胶,官网上没有,但是确实有307这个型号的胶。
3楼2014-10-16 09:00:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by liuzhushifei at 2014-10-16 09:00:19
光栅覆盖了整个片子!
溶解不均匀!你的意思是我显影之后光刻胶厚度不一样了?
对啊,是瑞红的胶,官网上没有,但是确实有307这个型号的胶。...

光栅的话,做出来从外部观察,就是你拍出来的花图案,这一点是没啥问题的,很典型的。
但是这个花图案应该是比较均匀的规律图案,不同地方的颜色是一致的,或者是渐变的。而你那个颜色是斑驳的。所以胶溶解的不均匀是存在的,这导致了厚度的不均匀,所以看上去颜色斑驳。
不建议用瑞红的胶,虽然瑞红的30x系列在分辨率方面做的还好,而且很便宜,但是在形貌,灵敏度,稳定性方面还是很差。
4楼2014-10-17 10:36:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-15 06:49 by 5BDX0d0WFp7t
[公派出国] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-15 06:38 by 5BDX0d0WFp7t
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-15 06:14 by 5BDX0d0WFp7t
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 4/200 2026-09-15 05:50 by 5BDX0d0WFp7t
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-15 05:38 by 5BDX0d0WFp7t
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-15 05:38 by 5BDX0d0WFp7t
[考博] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-15 05:34 by 5BDX0d0WFp7t
[硕博家园] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 3/150 2026-09-15 05:26 by 5BDX0d0WFp7t
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 7/350 2026-09-15 05:22 by 5BDX0d0WFp7t
[考研] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +5 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 6/300 2026-09-15 05:13 by 5BDX0d0WFp7t
[考研] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 4/200 2026-09-15 05:00 by mibUvS8DDCwf
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-15 01:21 by mibUvS8DDCwf
[公派出国] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 6/300 2026-09-14 22:37 by vZfe6xYu34yj
[考研] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 5/250 2026-09-14 22:25 by vZfe6xYu34yj
[找工作] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-14 22:13 by vZfe6xYu34yj
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 5/250 2026-09-14 21:25 by vZfe6xYu34yj
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 3/150 2026-09-14 18:01 by Aj1rhIDL5ixY
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 4/200 2026-09-14 17:48 by Aj1rhIDL5ixY
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 3/150 2026-09-14 15:09 by Aj1rhIDL5ixY
[找工作] 浙江师范大学是怎么坑我的 +6 recruit123 2026-09-09 6/300 2026-09-14 12:00 by 萨仁其其格
信息提示
请填处理意见