应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 显影后光刻胶表面出现波纹，求助！！！
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 2587  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)

[求助] 显影后光刻胶表面出现波纹，求助！！！ 已有2人参与

各位大神好，
       我在蓝宝石上旋涂了400nm左右的RZJ307光刻胶，涂完后未看到图示的波纹状形貌，表面平整。但是光栅投影曝光后，经8‰NaOH显影10s后出现图示波纹，求解！！!谢谢！

显影后光刻胶表面出现波纹，求助！！！
样品-1.jpg
回复此楼

» 本帖@通知

@lee0803

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-10-14 15:57:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2014-10-17 21:14:50
光栅有波纹是正常的。你做的是多大尺度的光栅结构？最好使用电镜或原子力显微镜做个图像，如果大尺寸光栅也可在显微镜下看看。
如果考虑换胶可站内联系下，我们这边有几种光刻胶可供选择。

周期650nm左右，电镜和原子力都看了，结构上没多大差别。没有做下一步的工艺，不知道波纹是否会对刻蚀产生影响。
赞一下 回复此楼
7楼2014-10-20 08:29:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liuzhushifei: 金币+2, ★★★很有帮助, 感谢回复！ 2014-10-16 09:02:52
supernatural: 请不要打广告，特别是我们版的专家！ 2014-10-17 22:25:16
光栅面积有多大？覆盖整个硅片？
光刻胶溶解的不均匀。不同位置的光刻胶在显影时被洗掉了不一样的厚度。
你是从哪里买的这个胶？RZJ是瑞红的编号，但没有307啊。
赞一下 回复此楼
2楼2014-10-15 17:50:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-10-15 17:50:31
光栅面积有多大？覆盖整个硅片？
光刻胶溶解的不均匀。不同位置的光刻胶在显影时被洗掉了不一样的厚度。
你是从哪里买的这个胶？RZJ是瑞红的编号，但没有307啊。

光栅覆盖了整个片子！
溶解不均匀！你的意思是我显影之后光刻胶厚度不一样了？
对啊，是瑞红的胶，官网上没有，但是确实有307这个型号的胶。
赞一下 回复此楼
3楼2014-10-16 09:00:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by liuzhushifei at 2014-10-16 09:00:19
光栅覆盖了整个片子！
溶解不均匀！你的意思是我显影之后光刻胶厚度不一样了？
对啊，是瑞红的胶，官网上没有，但是确实有307这个型号的胶。...

光栅的话，做出来从外部观察，就是你拍出来的花图案，这一点是没啥问题的，很典型的。
但是这个花图案应该是比较均匀的规律图案，不同地方的颜色是一致的，或者是渐变的。而你那个颜色是斑驳的。所以胶溶解的不均匀是存在的，这导致了厚度的不均匀，所以看上去颜色斑驳。
不建议用瑞红的胶，虽然瑞红的30x系列在分辨率方面做的还好，而且很便宜，但是在形貌，灵敏度，稳定性方面还是很差。
赞一下 回复此楼
4楼2014-10-17 10:36:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[有机交流] 甲基亚磺磺酸钠和甲基磺酸酯反应机理 10+3 kaobao456 2026-03-29 4/200 2026-03-30 23:16 by nBu锂
[考研] 274求调剂 +3 xiao爱同学 2026-03-30 3/150 2026-03-30 21:53 by lbsjt
[考研] 317求调剂 +8 十闲wx 2026-03-24 8/400 2026-03-30 21:00 by peike
[考研] 求收留 +6 1943443204 2026-03-28 6/300 2026-03-30 20:37 by dick_runner
[考研] 0703一志愿9，初试成绩：338，四六级已过，有科研经历，求调剂！ +7 Zuhui0306 2026-03-25 7/350 2026-03-30 19:01 by 源_2020
[考研] 300求调剂，材料科学英一数二 +18 leaflight 2026-03-24 18/900 2026-03-30 15:59 by wangjy2002
[考研] 求调剂 +7 研研，接电话 2026-03-24 8/400 2026-03-30 14:14 by 白云朵朵飞
[考研] 0703化学/290求调剂/本科经历丰富/工科也可 +13 丹青奶盖 2026-03-26 15/750 2026-03-30 12:35 by fangnagu
[考研] 2026年华南师范大学欢迎化学，化工，生物，生医工等专业优秀学子加入！ +3 llss0711 2026-03-28 6/300 2026-03-29 10:26 by llss0711
[考研] 11408软件工程求调剂 +3 Qiu学ing 2026-03-28 3/150 2026-03-28 21:50 by zhq0425
[考研] 压国家一区线，求导师收留，有恩必谢！ +7 迷人的哈哈 2026-03-28 7/350 2026-03-28 16:47 by 催化大白
[考研] 本科新能源科学与工程，一志愿华理能动285求调剂 +3 AZMK 2026-03-27 5/250 2026-03-28 16:19 by xxxsssccc
[考研] 299求调剂 +7 嗯嗯嗯嗯2 2026-03-27 7/350 2026-03-28 13:09 by 唐沐儿
[考研] 085602 307分 求调剂 +7 不知道叫什么！ 2026-03-26 7/350 2026-03-28 09:57 by 神马都不懂
[考研] 295求调剂 +5 1428151015 2026-03-27 6/300 2026-03-28 04:04 by fmesaito
[考研] 一志愿上海理工能源动力（085800）310分求调剂 +3 zhangmingc 2026-03-27 4/200 2026-03-27 19:01 by 给你你注意休息
[考研] 安徽大学专硕生物与医药专业(086000)324分，英语已过四六级，六级521，求调剂 +4 美味可乐鸡翅 2026-03-26 4/200 2026-03-27 15:27 by 星空星月
[考研] 321求调剂 +6 Ymlll 2026-03-24 6/300 2026-03-26 20:50 by 不吃魚的貓
[考研] 085602 289分求调剂 +8 WWW西西弗斯 2026-03-24 8/400 2026-03-26 16:33 by 不吃魚的貓
[考研] 机械学硕总分317求调剂！！！！ +4 Acaciad 2026-03-25 4/200 2026-03-25 19:59 by hanserlol
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭