24小时热门版块排行榜    

查看: 2890  |  回复: 9

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)

[求助] 显影后光刻胶表面出现波纹,求助!!! 已有2人参与

各位大神好,
       我在蓝宝石上旋涂了400nm左右的RZJ307光刻胶,涂完后未看到图示的波纹状形貌,表面平整。但是光栅投影曝光后,经8‰NaOH显影10s后出现图示波纹,求解!!!谢谢!

显影后光刻胶表面出现波纹,求助!!!
样品-1.jpg
回复此楼

» 本帖@通知

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liuzhushifei: 金币+2, ★★★很有帮助, 感谢回复! 2014-10-16 09:02:52
supernatural: 请不要打广告,特别是我们版的专家! 2014-10-17 22:25:16
光栅面积有多大?覆盖整个硅片?
光刻胶溶解的不均匀。不同位置的光刻胶在显影时被洗掉了不一样的厚度。
你是从哪里买的这个胶?RZJ是瑞红的编号,但没有307啊。
2楼2014-10-15 17:50:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-10-15 17:50:31
光栅面积有多大?覆盖整个硅片?
光刻胶溶解的不均匀。不同位置的光刻胶在显影时被洗掉了不一样的厚度。
你是从哪里买的这个胶?RZJ是瑞红的编号,但没有307啊。

光栅覆盖了整个片子!
溶解不均匀!你的意思是我显影之后光刻胶厚度不一样了?
对啊,是瑞红的胶,官网上没有,但是确实有307这个型号的胶。
3楼2014-10-16 09:00:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by liuzhushifei at 2014-10-16 09:00:19
光栅覆盖了整个片子!
溶解不均匀!你的意思是我显影之后光刻胶厚度不一样了?
对啊,是瑞红的胶,官网上没有,但是确实有307这个型号的胶。...

光栅的话,做出来从外部观察,就是你拍出来的花图案,这一点是没啥问题的,很典型的。
但是这个花图案应该是比较均匀的规律图案,不同地方的颜色是一致的,或者是渐变的。而你那个颜色是斑驳的。所以胶溶解的不均匀是存在的,这导致了厚度的不均匀,所以看上去颜色斑驳。
不建议用瑞红的胶,虽然瑞红的30x系列在分辨率方面做的还好,而且很便宜,但是在形貌,灵敏度,稳定性方面还是很差。
4楼2014-10-17 10:36:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-10-17 10:36:22
光栅的话,做出来从外部观察,就是你拍出来的花图案,这一点是没啥问题的,很典型的。
但是这个花图案应该是比较均匀的规律图案,不同地方的颜色是一致的,或者是渐变的。而你那个颜色是斑驳的。所以胶溶解的不均 ...

明白了,谢谢!
5楼2014-10-17 13:22:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
光栅有波纹是正常的。你做的是多大尺度的光栅结构?最好使用电镜或原子力显微镜做个图像,如果大尺寸光栅也可在显微镜下看看。
如果考虑换胶可站内联系下,我们这边有几种光刻胶可供选择。
6楼2014-10-17 21:14:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liuzhushifei

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2014-10-17 21:14:50
光栅有波纹是正常的。你做的是多大尺度的光栅结构?最好使用电镜或原子力显微镜做个图像,如果大尺寸光栅也可在显微镜下看看。
如果考虑换胶可站内联系下,我们这边有几种光刻胶可供选择。

周期650nm左右,电镜和原子力都看了,结构上没多大差别。没有做下一步的工艺,不知道波纹是否会对刻蚀产生影响。
7楼2014-10-20 08:29:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)


引用回帖:
7楼: Originally posted by liuzhushifei at 2014-10-20 08:29:59
周期650nm左右,电镜和原子力都看了,结构上没多大差别。没有做下一步的工艺,不知道波纹是否会对刻蚀产生影响。...

也有可能这个波纹是由基片下面的桌面造成的,可以把基片换到其他位置看看。如果电镜和原子力得到结构上没什么差别,应该没什么问题,继续往下做吧
8楼2014-10-20 21:49:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mengss

新虫 (初入文坛)

内容已删除
9楼2015-07-20 14:53:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mengss

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-10-17 10:36:22
光栅的话,做出来从外部观察,就是你拍出来的花图案,这一点是没啥问题的,很典型的。
但是这个花图案应该是比较均匀的规律图案,不同地方的颜色是一致的,或者是渐变的。而你那个颜色是斑驳的。所以胶溶解的 ...

你好,问一下,那中光刻胶会更好一些呢?请赐教,谢谢
10楼2015-07-20 14:55:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 liuzhushifei 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 能否申诉? +4 echo8914667 2026-08-30 5/250 2026-08-30 21:11 by echo8914667
[公派出国] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 4FFAWE8HcgUD 2026-08-29 5/250 2026-08-30 20:41 by hZiFeudZyoGR
[考研] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 zICmwzsBXjbN 2026-08-29 5/250 2026-08-30 20:08 by hZiFeudZyoGR
[考研] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 jCd0dEvKHShX 2026-08-29 5/250 2026-08-30 19:37 by hZiFeudZyoGR
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 jCd0dEvKHShX 2026-08-29 4/200 2026-08-30 19:34 by hZiFeudZyoGR
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 jCd0dEvKHShX 2026-08-29 3/150 2026-08-30 19:26 by hZiFeudZyoGR
[考研] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +5 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 6/300 2026-08-30 19:02 by hZiFeudZyoGR
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 4/200 2026-08-30 18:53 by hZiFeudZyoGR
[考博] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 5/250 2026-08-30 18:50 by hZiFeudZyoGR
[考研] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 6/300 2026-08-30 17:47 by hZiFeudZyoGR
[论文投稿] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +5 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 6/300 2026-08-30 17:25 by hZiFeudZyoGR
[考研] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +8 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 12/600 2026-08-30 17:11 by hZiFeudZyoGR
[教师之家] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 8/400 2026-08-30 05:48 by ZPa0EcMwuECS
[基金申请] 面上合作单位盖章 +5 ssyjh 2026-08-27 5/250 2026-08-27 20:50 by gdfollow
[基金申请] 申请删除本帖 +6 lyz123lyz 2026-08-27 7/350 2026-08-27 17:31 by 宁静致远sy
[基金申请] 出来了 +9 trojank 2026-08-26 9/450 2026-08-26 14:25 by 宝贝虫子
[基金申请] 系统进不去 +4 yanglien 2026-08-26 5/250 2026-08-26 11:10 by wenfengw83
[基金申请] 国合可查了 +3 paperzjh 2026-08-26 3/150 2026-08-26 10:41 by LemmonTr
[基金申请] 牛来!米来!面来! +8 beefly 2026-08-26 8/400 2026-08-26 08:37 by xuzhipiao
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑,不妨来听听这首《基金之外》 +8 scalable 2026-08-24 8/400 2026-08-25 12:52 by jnhyjjm
信息提示
请填处理意见