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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 显影后光刻胶表面出现波纹，求助！！！
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liuzhushifei

金虫 (初入文坛)

[求助] 显影后光刻胶表面出现波纹，求助！！！ 已有2人参与

各位大神好，
       我在蓝宝石上旋涂了400nm左右的RZJ307光刻胶，涂完后未看到图示的波纹状形貌，表面平整。但是光栅投影曝光后，经8‰NaOH显影10s后出现图示波纹，求解！！!谢谢！

显影后光刻胶表面出现波纹，求助！！！
样品-1.jpg
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@lee0803

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1楼 2014-10-14 15:57:14
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liuzhushifei: 金币+2, ★★★很有帮助, 感谢回复！ 2014-10-16 09:02:52
supernatural: 请不要打广告，特别是我们版的专家！ 2014-10-17 22:25:16
光栅面积有多大？覆盖整个硅片？
光刻胶溶解的不均匀。不同位置的光刻胶在显影时被洗掉了不一样的厚度。
你是从哪里买的这个胶？RZJ是瑞红的编号，但没有307啊。
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2楼2014-10-15 17:50:31
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liuzhushifei

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-10-15 17:50:31
光栅面积有多大？覆盖整个硅片？
光刻胶溶解的不均匀。不同位置的光刻胶在显影时被洗掉了不一样的厚度。
你是从哪里买的这个胶？RZJ是瑞红的编号，但没有307啊。

光栅覆盖了整个片子！
溶解不均匀！你的意思是我显影之后光刻胶厚度不一样了？
对啊，是瑞红的胶，官网上没有，但是确实有307这个型号的胶。
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3楼2014-10-16 09:00:19
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by liuzhushifei at 2014-10-16 09:00:19
光栅覆盖了整个片子！
溶解不均匀！你的意思是我显影之后光刻胶厚度不一样了？
对啊，是瑞红的胶，官网上没有，但是确实有307这个型号的胶。...

光栅的话，做出来从外部观察，就是你拍出来的花图案，这一点是没啥问题的，很典型的。
但是这个花图案应该是比较均匀的规律图案，不同地方的颜色是一致的，或者是渐变的。而你那个颜色是斑驳的。所以胶溶解的不均匀是存在的，这导致了厚度的不均匀，所以看上去颜色斑驳。
不建议用瑞红的胶，虽然瑞红的30x系列在分辨率方面做的还好，而且很便宜，但是在形貌，灵敏度，稳定性方面还是很差。
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4楼2014-10-17 10:36:22
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liuzhushifei

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-10-17 10:36:22
光栅的话，做出来从外部观察，就是你拍出来的花图案，这一点是没啥问题的，很典型的。
但是这个花图案应该是比较均匀的规律图案，不同地方的颜色是一致的，或者是渐变的。而你那个颜色是斑驳的。所以胶溶解的不均 ...

明白了，谢谢！
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5楼2014-10-17 13:22:02
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
光栅有波纹是正常的。你做的是多大尺度的光栅结构？最好使用电镜或原子力显微镜做个图像，如果大尺寸光栅也可在显微镜下看看。
如果考虑换胶可站内联系下，我们这边有几种光刻胶可供选择。
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6楼2014-10-17 21:14:50
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liuzhushifei

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2014-10-17 21:14:50
光栅有波纹是正常的。你做的是多大尺度的光栅结构？最好使用电镜或原子力显微镜做个图像，如果大尺寸光栅也可在显微镜下看看。
如果考虑换胶可站内联系下，我们这边有几种光刻胶可供选择。

周期650nm左右，电镜和原子力都看了，结构上没多大差别。没有做下一步的工艺，不知道波纹是否会对刻蚀产生影响。
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7楼2014-10-20 08:29:59
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by liuzhushifei at 2014-10-20 08:29:59
周期650nm左右，电镜和原子力都看了，结构上没多大差别。没有做下一步的工艺，不知道波纹是否会对刻蚀产生影响。...

也有可能这个波纹是由基片下面的桌面造成的，可以把基片换到其他位置看看。如果电镜和原子力得到结构上没什么差别，应该没什么问题，继续往下做吧
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8楼2014-10-20 21:49:32
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mengss

新虫 (初入文坛)
内容已删除
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9楼2015-07-20 14:53:18
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mengss

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-10-17 10:36:22
光栅的话，做出来从外部观察，就是你拍出来的花图案，这一点是没啥问题的，很典型的。
但是这个花图案应该是比较均匀的规律图案，不同地方的颜色是一致的，或者是渐变的。而你那个颜色是斑驳的。所以胶溶解的 ...

你好，问一下，那中光刻胶会更好一些呢？请赐教，谢谢
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10楼2015-07-20 14:55:42
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