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风在云在

金虫 (正式写手)

[求助] 关于XRD膜厚 已有1人参与

为什么测试薄膜XRD,要求厚度100nm,是薄了不结晶?还是因为仪器测试精度?还是...?
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916941518

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
在做XRD测试时,由于其发出的射线具有穿透性,如果被测薄膜的厚度较小,从而可以穿透薄膜测试到基底上,这样不能准确表示被测试薄膜性质。因此需要镀膜稍厚一点,避免射线穿透薄膜造成测试不精确
2楼2014-11-11 21:14:52
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风在云在

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 916941518 at 2014-11-11 21:14:52
在做XRD测试时,由于其发出的射线具有穿透性,如果被测薄膜的厚度较小,从而可以穿透薄膜测试到基底上,这样不能准确表示被测试薄膜性质。因此需要镀膜稍厚一点,避免射线穿透薄膜造成测试不精确

谢谢,我做的是溶胶凝胶In2O3薄膜,XRD测试350度退火(100nm)出现结晶,相同条件如果厚度降低到10~20nm会因为表面效应出现非晶态吗?
3楼2014-11-12 09:59:58
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916941518

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 风在云在 at 2014-11-12 09:59:58
谢谢,我做的是溶胶凝胶In2O3薄膜,XRD测试350度退火(100nm)出现结晶,相同条件如果厚度降低到10~20nm会因为表面效应出现非晶态吗?...

退火可以提高结晶度,但是实验大都具有偶然性,这个不好说!
4楼2014-11-13 15:37:35
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