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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 关于XRD膜厚
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风在云在

金虫 (正式写手)

[求助] 关于XRD膜厚 已有1人参与

为什么测试薄膜XRD，要求厚度100nm，是薄了不结晶？还是因为仪器测试精度?还是...?
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1楼 2014-11-11 16:11:13
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916941518

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
在做XRD测试时，由于其发出的射线具有穿透性，如果被测薄膜的厚度较小，从而可以穿透薄膜测试到基底上，这样不能准确表示被测试薄膜性质。因此需要镀膜稍厚一点，避免射线穿透薄膜造成测试不精确
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2楼2014-11-11 21:14:52
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风在云在

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 916941518 at 2014-11-11 21:14:52
在做XRD测试时，由于其发出的射线具有穿透性，如果被测薄膜的厚度较小，从而可以穿透薄膜测试到基底上，这样不能准确表示被测试薄膜性质。因此需要镀膜稍厚一点，避免射线穿透薄膜造成测试不精确

谢谢，我做的是溶胶凝胶In2O3薄膜，XRD测试350度退火（100nm）出现结晶，相同条件如果厚度降低到10~20nm会因为表面效应出现非晶态吗？
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3楼2014-11-12 09:59:58
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916941518

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 风在云在 at 2014-11-12 09:59:58
谢谢，我做的是溶胶凝胶In2O3薄膜，XRD测试350度退火（100nm）出现结晶，相同条件如果厚度降低到10~20nm会因为表面效应出现非晶态吗？...

退火可以提高结晶度，但是实验大都具有偶然性，这个不好说！
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4楼2014-11-13 15:37:35
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