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snowavE5816

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求如何测微米级别的膜厚

实验中,要对镁板进行一次磷化处理,
1,请问虫友们有没有方法测的这层磷化膜的膜厚啊,微米级别的!
2,有人说用膜厚仪,不知可行不,请问哪个大学或研究所有这种仪器啊?
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天高海阔!
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apolloljy

银虫 (小有名气)


yunruirui(金币+1):谢谢参与交流,希望常来 2010-09-06 15:17:54
snowavE5816(金币+2): 2010-09-07 09:00:06
几十至几个微米级别的厚度,应该用台阶仪就可以测了,即膜厚仪,一般配有微机电中心(MEMSC)的学校或者研究所都有,这是一台很常用的仪器
2楼2010-09-06 12:58:03
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李欢12

新虫 (小有名气)


yunruirui(金币+1):谢谢参与交流,希望常来 2010-09-06 15:18:05
snowavE5816(金币+1): 2010-09-07 09:00:56
TEM就能搞定
3楼2010-09-06 13:53:26
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pengyingjing

木虫 (著名写手)

snowavE5816(金币+1): 2010-09-07 09:00:59
SEM,量一下就好了
4楼2010-09-06 18:38:57
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