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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】求如何测微米级别的膜厚
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snowavE5816

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求如何测微米级别的膜厚

实验中，要对镁板进行一次磷化处理，
1，请问虫友们有没有方法测的这层磷化膜的膜厚啊，微米级别的！
2，有人说用膜厚仪，不知可行不，请问哪个大学或研究所有这种仪器啊？
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天高海阔！
1楼 2010-09-06 12:13:38
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pengyingjing

木虫 (著名写手)
snowavE5816(金币+1): 2010-09-07 09:00:59
SEM，量一下就好了
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4楼2010-09-06 18:38:57
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apolloljy

银虫 (小有名气)
★
yunruirui(金币+1):谢谢参与交流，希望常来 2010-09-06 15:17:54
snowavE5816(金币+2): 2010-09-07 09:00:06
几十至几个微米级别的厚度，应该用台阶仪就可以测了，即膜厚仪，一般配有微机电中心（MEMSC）的学校或者研究所都有，这是一台很常用的仪器
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2楼2010-09-06 12:58:03
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