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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 请教一下XRD衍射峰强度的问题~
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

[求助] 请教一下XRD衍射峰强度的问题~

请教一个问题：外延生长单晶薄膜，然后采用XRD进行2θ-ω测试，按理来说，不同材料层会对应一个峰位，但是这个峰位的峰的强度与什么有关？比如厚度、材料质量等~
如果某个层很薄，那么再假设质量没问题的情况下，相比于厚层，是不是其衍射峰强度会弱得多？

如果xrd测试时，最高衍射峰的强度为60万，而另个一薄层的衍射峰强度只有140左右~这个如何解释？

请高手不吝赐教~
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1楼 2013-05-30 11:21:18
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luxtal

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
因为择优取向的关系，各种强度比都可能，有些峰甚至根本不出现。
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What_we_observe_is_not_nature_itself,_but_nature_exposed_to_our_method_of_questioning----Werner_Karl_Heisenberg
2楼2013-05-30 22:11:07
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police59

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
感觉上XRD对样品的厚度有最低标准限值。薄膜的话层数太少时XRD有概率没有peak.
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明天我们来造
3楼2013-05-31 09:17:38
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MANOWAR

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by luxtal at 2013-05-30 22:11:07
因为择优取向的关系，各种强度比都可能，有些峰甚至根本不出现。

你好，我已经说了，是单晶薄膜。
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4楼2013-05-31 15:54:47
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MANOWAR

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by police59 at 2013-05-31 09:17:38
感觉上XRD对样品的厚度有最低标准限值。薄膜的话层数太少时XRD有概率没有peak.

您说的层数太少，指的是什么？原子层数太少？
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5楼2013-05-31 15:56:05
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police59

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

涂层的层数太少。你可以去测一下薄膜的厚度，我用的一般都是400 nm左右，数据正常。
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明天我们来造
6楼2013-05-31 22:21:26
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MANOWAR

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by police59 at 2013-05-31 22:21:26
涂层的层数太少。你可以去测一下薄膜的厚度，我用的一般都是400 nm左右，数据正常。

我们的薄膜是外延生长的~自下而上厚度分别为100nm-1000nm-15nm-13nm
其中100nm和1000nm所对应的薄膜是能够看到明显的峰的，13nm这个不是很明显，因为半高宽非常大，但是这个15nm的，如果存在，其衍射峰强度弱得多~所以我不确定这个峰到底是不是这15nm薄膜的峰~~
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7楼2013-06-01 09:52:09
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白露未晞

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不知道2Theta 扫描范围多少?如果显示在同一位置，要做高分辨XRD，如果位置还是区分不开，要做三轴的XRD，如果强度弱，就多多增加积分时间。
另外一个方法是做高阶指数的XRD，如（002）面峰叠加的话，也许（004）面就分开了

峰强度和膜厚肯定有直接关系，膜越厚峰越强
区分相近几个峰最简单的方法是根据晶格常数的变化，晶格常数的大小和峰的位置直接相关
如果出现有规律的峰，如等间距什么的，可以是等厚条纹
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8楼2013-07-08 10:14:39
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白露未晞

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

1000nm远远大于13nm，弱峰被掩盖的几率非常高
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9楼2013-07-08 10:16:55
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MANOWAR

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 白露未晞 at 2013-07-08 10:14:39
不知道2Theta 扫描范围多少?如果显示在同一位置，要做高分辨XRD，如果位置还是区分不开，要做三轴的XRD，如果强度弱，就多多增加积分时间。
另外一个方法是做高阶指数的XRD，如（002）面峰叠加的话，也许（004）面 ...

谢谢你热心的回答了我好几个问题~能不能帮我看看这个：http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=5964844
谢谢~~
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10楼2013-07-10 12:26:05
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