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MANOWAR

金虫 (正式写手)

[求助] 请教一下XRD衍射峰强度的问题~

请教一个问题:外延生长单晶薄膜,然后采用XRD进行2θ-ω测试,按理来说,不同材料层会对应一个峰位,但是这个峰位的峰的强度与什么有关?比如厚度、材料质量等~
如果某个层很薄,那么再假设质量没问题的情况下,相比于厚层,是不是其衍射峰强度会弱得多?

如果xrd测试时,最高衍射峰的强度为60万,而另个一薄层的衍射峰强度只有140左右~这个如何解释?

请高手不吝赐教~
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luxtal

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
因为择优取向的关系,各种强度比都可能,有些峰甚至根本不出现。
What_we_observe_is_not_nature_itself,_but_nature_exposed_to_our_method_of_questioning----Werner_Karl_Heisenberg
2楼2013-05-30 22:11:07
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police59

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
感觉上XRD对样品的厚度有最低标准限值。薄膜的话层数太少时XRD有概率没有peak.
明天我们来造
3楼2013-05-31 09:17:38
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by luxtal at 2013-05-30 22:11:07
因为择优取向的关系,各种强度比都可能,有些峰甚至根本不出现。

你好,我已经说了,是单晶薄膜。
4楼2013-05-31 15:54:47
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by police59 at 2013-05-31 09:17:38
感觉上XRD对样品的厚度有最低标准限值。薄膜的话层数太少时XRD有概率没有peak.

您说的层数太少,指的是什么?原子层数太少?
5楼2013-05-31 15:56:05
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police59

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

涂层的层数太少。你可以去测一下薄膜的厚度,我用的一般都是400 nm左右,数据正常。
明天我们来造
6楼2013-05-31 22:21:26
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by police59 at 2013-05-31 22:21:26
涂层的层数太少。你可以去测一下薄膜的厚度,我用的一般都是400 nm左右,数据正常。

我们的薄膜是外延生长的~自下而上厚度分别为100nm-1000nm-15nm-13nm
其中100nm和1000nm所对应的薄膜是能够看到明显的峰的,13nm这个不是很明显,因为半高宽非常大,但是这个15nm的,如果存在,其衍射峰强度弱得多~所以我不确定这个峰到底是不是这15nm薄膜的峰~~
7楼2013-06-01 09:52:09
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白露未晞

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不知道2Theta 扫描范围多少?如果显示在同一位置,要做高分辨XRD,如果位置还是区分不开,要做三轴的XRD,如果强度弱,就多多增加积分时间。
另外一个方法是做高阶指数的XRD,如(002)面峰叠加的话,也许(004)面就分开了

峰强度和膜厚肯定有直接关系,膜越厚峰越强
区分相近几个峰最简单的方法是根据晶格常数的变化,晶格常数的大小和峰的位置直接相关
如果出现有规律的峰,如等间距什么的,可以是等厚条纹
8楼2013-07-08 10:14:39
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白露未晞

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

1000nm远远大于13nm,弱峰被掩盖的几率非常高
9楼2013-07-08 10:16:55
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 白露未晞 at 2013-07-08 10:14:39
不知道2Theta 扫描范围多少?如果显示在同一位置,要做高分辨XRD,如果位置还是区分不开,要做三轴的XRD,如果强度弱,就多多增加积分时间。
另外一个方法是做高阶指数的XRD,如(002)面峰叠加的话,也许(004)面 ...

谢谢你热心的回答了我好几个问题~能不能帮我看看这个:http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=5964844
谢谢~~
10楼2013-07-10 12:26:05
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