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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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waterque

金虫 (正式写手)

[求助] 射频等离子体产生起辉的条件 已有4人参与

实验室新购进超高真空用的射频等离子体源，自动调谐，反射功率经调谐后为0-1W。测试之时试了很多参数均不能产生等离子体（气源为掺5%Ar的H2，不能起辉），可有这方面的专家，给我们支招，谢谢。

射频等离子体源的大致结构是：线圈绕在一个PBN放电管的外面，气体流经放电管。
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行自己的路：waterque@hotmail.com
1楼 2014-10-02 10:59:31
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babycooltz

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

工作气压太低了，又是95%氢气，确实不好放电。功率250不算大，楼主提高下功率试试。一般射频源最高功率有600w，有1200w，250w再提高没事。除了2L的方法，你也可以先提高工作压力放电，放电后再把压力降下来。道理差不多。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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9楼2014-11-13 23:01:03
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主请给出你们尝试放电的气压、入射功率等具体参数，只给出反射功率小并不能说明你的入射功率全部加载到目标负载上面了，也可能将射频电缆当做负载，楼主请检查是否出现电缆发热现象！
据我所知，氢气的电离能相对较高，楼主是否将试图放电的气压调得太低（真空度太高）。可以分步进行，首先尝试纯Ar放电，一般相对较容易！然后再尝试通入氢气，并从高气压譬如说1-2Pa开始往下试试。
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2014-10-02 13:30:44
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waterque

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2014-10-02 13:30:44
楼主请给出你们尝试放电的气压、入射功率等具体参数，只给出反射功率小并不能说明你的入射功率全部加载到目标负载上面了，也可能将射频电缆当做负载，楼主请检查是否出现电缆发热现象！
据我所知，氢气的电离能相对 ...

放电气压应该说确实比较低，因为是在超高真空的腔体里面测试，气流设为 3sccm时大概是10^-3 ~ 10^-4 mbar, 也就是10^-1 ~ 10^-2 Pa，功率试过200, 250 W，均有过测试。
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行自己的路：waterque@hotmail.com
3楼2014-10-02 14:14:03
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waterque

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2014-10-02 13:30:44
楼主请给出你们尝试放电的气压、入射功率等具体参数，只给出反射功率小并不能说明你的入射功率全部加载到目标负载上面了，也可能将射频电缆当做负载，楼主请检查是否出现电缆发热现象！
据我所知，氢气的电离能相对 ...

功率应该是加载放电管附近了，因为放电管外面的腔壁时间长了，会有点发烫，其他地方不会，匹配器接在法兰外，距离射频线圈很近，中间几乎没什么线缆。
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行自己的路：waterque@hotmail.com
4楼2014-10-02 14:20:49
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