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[交流]
关于容性耦合射频等离子体自偏压的问题。
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大家好！ 我想问一下，现在我正在调试射频电源产生等离子体，还没有起辉，我发现射频匹配器上有一个自偏压的电压表。我想请问有经验的大侠，在未起辉的时候自偏压的电压表会有指示吗（未起辉的时候会产生自偏压吗）？ |
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思考(金币+1): 谢谢参与
hwweven: 金币+2, 感谢应助~ 2012-10-26 20:16:49
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2楼2012-10-26 18:52:05