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关于容性耦合射频等离子体自偏压的问题。
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关于容性耦合射频等离子体自偏压的问题。
大家好!
我想问一下,现在我正在调试射频电源产生等离子体,还没有起辉,我发现射频匹配器上有一个自偏压的电压表。我想请问有经验的大侠,在未起辉的时候自偏压的电压表会有指示吗(未起辉的时候会产生自偏压吗)?
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2楼
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