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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » 关于容性耦合射频等离子体自偏压的问题。
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思考

木虫 (小有名气)

[交流] 关于容性耦合射频等离子体自偏压的问题。

大家好！
    我想问一下，现在我正在调试射频电源产生等离子体，还没有起辉，我发现射频匹配器上有一个自偏压的电压表。我想请问有经验的大侠，在未起辉的时候自偏压的电压表会有指示吗（未起辉的时候会产生自偏压吗）？
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1楼 2012-10-26 13:50:53
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wangya705

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★
思考(金币+1): 谢谢参与
hwweven: 金币+2, 感谢应助~ 2012-10-26 20:16:49
本帖内容被屏蔽
2楼2012-10-26 18:52:05
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