| 查看: 1074 | 回复: 3 | |||
titanhwei铁杆木虫 (知名作家)
|
[交流]
低气压双频容性耦合等离子体物理研究取得新进展 已有3人参与
|
|
近日，大连理工大学王友年教授的研究课题组在双频容性耦合等离子体放电装置上，分别利用双悬浮静电探针和移动发射光谱探针进行测量，观察到电子反弹共振加热现象的存在，并用Particle-in-cell/Monte-Carlo（PIC/MC）模拟方法进行辅证。在固定其它放电参数下，通过调节放电间隙，发现等离子体密度及发射光谱随间隙变化存在一个明显的共振峰-。此外，还发现在双频（60MHz/2MHz）放电条件下，电子反弹共振行为可以在较大的放电间隙下发生，这一点与单频放(60MHz)电情况下的行为明显地不同。研究论文“Collisionless Bounce Resonance Heating in Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasmas” 发表在Physical Review Letters（PRL 107, 055002 (2011)）。该项研究工作得到国家自然科学基金重点项目的资助（2007-2010）。 反弹电子共振现象早在1991年就分别被Wood及Vender等人通过计算机模拟而预言，但一直没有得到实验证实。主要原因是形成这种电子反弹共振现象的实验条件（低气压，小间隙）很苛刻，一般情况下很难被观察到。该研究结果不仅有助于人们进一步加深对低气压射频放电条件下等离子体加热机制的理解，同时对优化半导体芯片刻蚀工艺中的放电参数的选择也具有重要的实际意义。 http://www.nsfc.gov.cn/Portal0/InfoModule_375/34797.htm |
回复此楼» 猜你喜欢
科研孤儿太难了
已经有19人回复
-
能否退出参与的面上项目解除限项
已经有9人回复
-
明天应该可查了！？
已经有4人回复
-
什么时候开奖？
已经有11人回复
-
范进中举一文的中心思想
已经有6人回复
-
建议基金发布提前给出明确的时间点
已经有14人回复
-
2026国自然函评费到账
已经有17人回复
-
让我中一个面上吧！
已经有15人回复
-
2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战
已经有5人回复
-
跳槽后在研项目怎么办？
已经有10人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 初学者想知道物理化学的意义。。。
已经有34人回复
- 全国分析化学比较好的研究生学校有哪些呀
已经有16人回复
- 求低温等离子体电子密度测量方法
已经有4人回复
- 物理化学问题，求解！
已经有7人回复
- 关于最大功率输出定理
已经有7人回复
- 黄昆固体物理课件
已经有239人回复
- 武汉物理与数学研究分析化学怎么样？
已经有4人回复
- 分子泵和机械泵如何连接
已经有18人回复
- 物理学报投稿问题
已经有4人回复
- 物理哪个专业（研究方向）就业前景比较好？
已经有49人回复
- 中科院上海应用物理研究所招聘--分析化学、无机化学类
已经有60人回复
- 石墨烯中的自旋轨道耦合
已经有7人回复
redcom
铜虫 (著名写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 2468.2
- 散金: 20
- 红花: 4
- 帖子: 1888
- 在线: 173.4小时
- 虫号: 100499
- 注册: 2005-11-12
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2011-08-13 10:47:04
 |
3楼2011-08-13 10:50:29
xiaowu759
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 50 (小学生)
- 金币: 15893.2
- 散金: 1597
- 红花: 15
- 帖子: 1611
- 在线: 1534.7小时
- 虫号: 98977
- 注册: 2005-11-11
- 性别: GG
- 专业: 高分子物理与高分子物理化
4楼2011-08-13 11:23:10
