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titanhwei

铁杆木虫 (知名作家)

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[交流] 低气压双频容性耦合等离子体物理研究取得新进展已有3人参与

近日，大连理工大学王友年教授的研究课题组在双频容性耦合等离子体放电装置上，分别利用双悬浮静电探针和移动发射光谱探针进行测量，观察到电子反弹共振加热现象的存在，并用Particle-in-cell/Monte-Carlo（PIC/MC）模拟方法进行辅证。在固定其它放电参数下，通过调节放电间隙，发现等离子体密度及发射光谱随间隙变化存在一个明显的共振峰-。此外，还发现在双频（60MHz/2MHz）放电条件下，电子反弹共振行为可以在较大的放电间隙下发生，这一点与单频放(60MHz)电情况下的行为明显地不同。研究论文“Collisionless Bounce Resonance Heating in Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasmas” 发表在Physical Review Letters（PRL 107, 055002 (2011)）。该项研究工作得到国家自然科学基金重点项目的资助（2007-2010）。

　　反弹电子共振现象早在1991年就分别被Wood及Vender等人通过计算机模拟而预言，但一直没有得到实验证实。主要原因是形成这种电子反弹共振现象的实验条件（低气压，小间隙）很苛刻，一般情况下很难被观察到。该研究结果不仅有助于人们进一步加深对低气压射频放电条件下等离子体加热机制的理解，同时对优化半导体芯片刻蚀工艺中的放电参数的选择也具有重要的实际意义。

http://www.nsfc.gov.cn/Portal0/InfoModule_375/34797.htm

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