| 查看: 4454 | 回复: 11 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
waterque金虫 (正式写手)
|
[求助]
射频等离子体产生起辉的条件 已有4人参与
|
|
|
实验室新购进超高真空用的射频等离子体源，自动调谐，反射功率经调谐后为0-1W。测试之时试了很多参数均不能产生等离子体（气源为掺5%Ar的H2，不能起辉），可有这方面的专家，给我们支招，谢谢。 射频等离子体源的大致结构是：线圈绕在一个PBN放电管的外面，气体流经放电管。 |
回复此楼» 猜你喜欢
建议基金发布提前给出明确的时间点
已经有14人回复
-
范进中举一文的中心思想
已经有5人回复
-
2026国自然函评费到账
已经有17人回复
-
让我中一个面上吧！
已经有15人回复
-
2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战
已经有5人回复
-
跳槽后在研项目怎么办？
已经有10人回复
-
什么时候开奖？
已经有10人回复
-
今天放榜吗？
已经有16人回复
-
93BebMhtakh前后11位开头都是大写
已经有8人回复
-
只有每年这种时候来逛逛小木虫
已经有26人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 直流磁控溅射制备DLC，靶功率源的电压一直飙升，请问大神们是什么原因？
已经有4人回复
- 直流磁控溅射电压变大
已经有6人回复
- 溅射金属靶的辉光颜色问题
已经有7人回复
- 磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
已经有4人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- 关于容性耦合射频等离子体自偏压的问题。
已经有1人回复
- 什么叫偏压溅射？如何对基底加偏压？
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射设备中的强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？
已经有9人回复
- 求耐高温且不与F反应的导热性好的材料
已经有13人回复
- 【求助】MPCVD等离子体熄灭问题
已经有11人回复
- 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
已经有12人回复
- 【求助】射频放电等离子体制备建模求助
已经有6人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
waterque
金虫 (正式写手)
- 应助: 59 (初中生)
- 金币: 1989.1
- 散金: 96
- 红花: 10
- 帖子: 759
- 在线: 191.9小时
- 虫号: 2095273
- 注册: 2012-10-30
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
7楼2014-11-13 14:07:25
leongoall
专家顾问 (知名作家)
P-M-I之初生牛犊
- 应助: 144 (高中生)
- 贵宾: 0.055
- 金币: 7602.7
- 散金: 627
- 红花: 35
- 沙发: 3
- 帖子: 5347
- 在线: 1063小时
- 虫号: 490263
- 注册: 2008-01-03
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
- 管辖: 物理
2楼2014-10-02 13:30:44
waterque
金虫 (正式写手)
- 应助: 59 (初中生)
- 金币: 1989.1
- 散金: 96
- 红花: 10
- 帖子: 759
- 在线: 191.9小时
- 虫号: 2095273
- 注册: 2012-10-30
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2014-10-02 14:14:03
waterque
金虫 (正式写手)
- 应助: 59 (初中生)
- 金币: 1989.1
- 散金: 96
- 红花: 10
- 帖子: 759
- 在线: 191.9小时
- 虫号: 2095273
- 注册: 2012-10-30
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2014-10-02 14:20:49
40