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waterque金虫 (正式写手)
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射频等离子体产生起辉的条件 已有4人参与
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实验室新购进超高真空用的射频等离子体源，自动调谐，反射功率经调谐后为0-1W。测试之时试了很多参数均不能产生等离子体（气源为掺5%Ar的H2，不能起辉），可有这方面的专家，给我们支招，谢谢。 射频等离子体源的大致结构是：线圈绕在一个PBN放电管的外面，气体流经放电管。 |
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waterque
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