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下届上帝

木虫 (小有名气)

少校木虫

[求助] AAO表面磁控溅射铜的一些问题,请高手指点 已有2人参与

老板只给了一个课题,什么也不管,完全靠自己,我不是要吐槽,奈何有许多不懂,特来请教。在论坛看到有许多人都是AAO镀金,银或者铂来做电极,没有人用铜吗?是有什么缺陷吗?如果是用铜靶的话,磁控溅射的一些参数如温度,气氛,溅射时间等怎么控制,金币不多,不够再加,感谢您的回帖。
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下届上帝

木虫 (小有名气)

少校木虫

此论坛诸多大神,无人能解吗?
2楼2014-05-15 17:12:12
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爱诺金

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 下届上帝 at 2014-05-15 17:12:12
此论坛诸多大神,无人能解吗?

AAO是硅基氧化铝膜么?   应该是不行吧 ,估计不能形成欧姆接触   你仔细查一下,看接触势垒多少。
3楼2014-06-09 21:52:04
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
下届上帝: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-06-11 20:22:54
铜可以,不过感觉晶粒粗,有时候沉积不如Pt啥的好,另外容易氧化,保存要在真空箱里,而且也不能太久
4楼2014-06-09 22:04:25
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杜小敏

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我也在做AAO模板溅射铜做电极。之前是蒸镀的金,孔没有完全堵上。请问你的模板孔径多大?磁控溅射铜成功了吗?
5楼2018-04-09 11:04:41
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