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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » AAO表面磁控溅射铜的一些问题，请高手指点
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下届上帝

木虫 (小有名气)

少校木虫

[求助] AAO表面磁控溅射铜的一些问题，请高手指点 已有2人参与

老板只给了一个课题，什么也不管，完全靠自己，我不是要吐槽，奈何有许多不懂，特来请教。在论坛看到有许多人都是AAO镀金，银或者铂来做电极，没有人用铜吗？是有什么缺陷吗？如果是用铜靶的话，磁控溅射的一些参数如温度，气氛，溅射时间等怎么控制，金币不多，不够再加，感谢您的回帖。
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1楼 2014-05-13 14:46:11
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下届上帝

木虫 (小有名气)

少校木虫
此论坛诸多大神，无人能解吗？
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2楼2014-05-15 17:12:12
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爱诺金

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 下届上帝 at 2014-05-15 17:12:12
此论坛诸多大神，无人能解吗？

AAO是硅基氧化铝膜么？   应该是不行吧 ，估计不能形成欧姆接触   你仔细查一下，看接触势垒多少。
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3楼2014-06-09 21:52:04
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
下届上帝: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-06-11 20:22:54
铜可以，不过感觉晶粒粗，有时候沉积不如Pt啥的好，另外容易氧化，保存要在真空箱里，而且也不能太久
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4楼2014-06-09 22:04:25
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杜小敏

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我也在做AAO模板溅射铜做电极。之前是蒸镀的金，孔没有完全堵上。请问你的模板孔径多大？磁控溅射铜成功了吗？
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5楼2018-04-09 11:04:41
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