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下届上帝

木虫 (小有名气)

少校木虫

应助: 4 (幼儿园)
金币: 2426.6
帖子: 284
在线: 75.3小时
虫号: 1920775
注册: 2012-08-02
性别: GG
专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶

[求助] AAO表面磁控溅射铜的一些问题，请高手指点已有2人参与

老板只给了一个课题，什么也不管，完全靠自己，我不是要吐槽，奈何有许多不懂，特来请教。在论坛看到有许多人都是AAO镀金，银或者铂来做电极，没有人用铜吗？是有什么缺陷吗？如果是用铜靶的话，磁控溅射的一些参数如温度，气氛，溅射时间等怎么控制，金币不多，不够再加，感谢您的回帖。

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1楼2014-05-13 14:46:11

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杜小敏

铁虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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帖子: 11
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虫号: 3361609
注册: 2014-08-11
性别: MM
专业: 有机高分子功能材料

【答案】应助回帖

我也在做AAO模板溅射铜做电极。之前是蒸镀的金，孔没有完全堵上。请问你的模板孔径多大？磁控溅射铜成功了吗？

5楼2018-04-09 11:04:41

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