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下届上帝

木虫 (小有名气)

少校木虫

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虫号: 1920775
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性别: GG
专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶

[求助] AAO表面磁控溅射铜的一些问题，请高手指点已有2人参与

老板只给了一个课题，什么也不管，完全靠自己，我不是要吐槽，奈何有许多不懂，特来请教。在论坛看到有许多人都是AAO镀金，银或者铂来做电极，没有人用铜吗？是有什么缺陷吗？如果是用铜靶的话，磁控溅射的一些参数如温度，气氛，溅射时间等怎么控制，金币不多，不够再加，感谢您的回帖。

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1楼2014-05-13 14:46:11

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木虫 (小有名气)

少校木虫

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此论坛诸多大神，无人能解吗？

2楼2014-05-15 17:12:12

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