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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 纯的金属zn的溅射
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ghf4664812

铜虫 (小有名气)

[求助] 纯的金属zn的溅射 已有3人参与

为什么我用金属zn溅射出来的薄膜发黑，而且靶的表面也发黑，zn薄膜不是应该是亮色的吗，为什么会出现这种情况，真空度我已经抽下去了，而且用的ar气，为什么哎，第一组的薄膜全黑，第二组表面发黑，但反过来是亮色的，求高人指点啊。
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1楼 2014-04-21 09:44:23
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

刺客yl

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ghf4664812 at 2014-04-21 09:56:09
就是说薄膜越厚就会变黑吗...

你确定是黑色？锌粉就是黑灰色的。薄膜薄、颗粒感比较明显的话，会影响折光性，会使颜色更黑。如果膜比较厚、或者密堆积的话就会光亮了。所以说背面光亮是由于比较密，前面黑，是由于颗粒间隙造成的
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4楼2014-04-21 10:04:09
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普通回帖

刺客yl

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2014-04-21 20:09:06
跟膜厚度还有zn粒度有关系
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2楼2014-04-21 09:53:21
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ghf4664812

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 刺客yl at 2014-04-21 09:53:21
跟膜厚度还有zn粒度有关系

就是说薄膜越厚就会变黑吗
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3楼2014-04-21 09:56:09
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ghf4664812

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 刺客yl at 2014-04-21 10:04:09
你确定是黑色？锌粉就是黑灰色的。薄膜薄、颗粒感比较明显的话，会影响折光性，会使颜色更黑。如果膜比较厚、或者密堆积的话就会光亮了。所以说背面光亮是由于比较密，前面黑，是由于颗粒间隙造成的...

那为什么靶的表面也会变黑，而且我要怎么样才能解决这个问题
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5楼2014-04-21 10:09:02
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刺客yl

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by ghf4664812 at 2014-04-21 10:09:02
那为什么靶的表面也会变黑，而且我要怎么样才能解决这个问题...

被Ar轰击完，表面被刻蚀也不光泽了被……金属靶材会变色很正常，我们用的Al、钒靶被刻蚀的地方都有变色，主要就是中间附近一个圆圈变色厉害。
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6楼2014-04-21 10:18:09
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ghf4664812

铜虫 (小有名气)
mjx150: 是否拍个照片看看会更好呢 2014-04-21 11:07:45
引用回帖:
6楼: Originally posted by 刺客yl at 2014-04-21 10:18:09
被Ar轰击完，表面被刻蚀也不光泽了被……金属靶材会变色很正常，我们用的Al、钒靶被刻蚀的地方都有变色，主要就是中间附近一个圆圈变色厉害。...

而我的那个靶除了起辉部分还好点其余的地方黑的厉害，特别是中间与周围
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7楼2014-04-21 10:35:55
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刺客yl

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by ghf4664812 at 2014-04-21 10:35:55
而我的那个靶除了起辉部分还好点其余的地方黑的厉害，特别是中间与周围...

就是一圈吧？都是折光率引起的。因为里边没有其他气体或物质。氧气氧化会变白
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8楼2014-04-21 11:16:45
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juangpeiyi

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我的也是一模一樣
3”zn rf 180w
30mins打了5.5um  又黑又快
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9楼2015-03-12 13:40:37
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

你所说的问题我之前也碰到，一模一样的问题。金属Zn靶材表面变黑是因为离子的能量较大轰击靶材表面产生的，薄膜颜色发黑是正常的情况，因为金属薄膜的折射率非常大，金属薄膜一般在10个纳米以下才会是透明的。

关于靶材发黑，我建议溅射过程功率不要太大，尽量将真空降到-4量级以下。每次溅射完后拿出来打磨至发亮。
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用绳命来搞科研
10楼2015-03-13 10:46:48
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