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l_l_2

银虫 (小有名气)

[求助] 直流等离子体溅射制备金属膜

基片与靶材之间距离为什么要合适,为什么不能过近,近了的话,通过控制溅射时间来处理膜的厚度不行么,会造成不良影响么??
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

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l_l_2: 金币+60, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案 2012-11-04 10:03:49
基片与靶材之间距离太近时,离子对基片表面的轰击可以损坏膜层,太远则偏离了最佳溅射距离制备的膜层结合力差(因为离子超过平均自由程会通过碰撞损失能量)。
没有困难创造困难也要上网。
2楼2012-10-26 08:44:02
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