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直流等离子体溅射制备金属膜
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| 基片与靶材之间距离为什么要合适,为什么不能过近,近了的话,通过控制溅射时间来处理膜的厚度不行么,会造成不良影响么?? |
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qfw_68
版主 (文坛精英)
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2楼2012-10-26 08:44:02











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