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直流溅射,制备电极
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lezhi2011
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[交流]
直流溅射,制备电极
常温下 直流溅射 溅射电极 银靶 一般激发的条件是多少,比如电压,电流等参数。第一次接触 不是很懂这玩意。
请各位大虾帮帮忙。
[
Last edited by lezhi2011 on 2012-4-9 at 10:45
]
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去查查文献了吧!那个得到的信息多啊!毕竟肯定是有别人在做这个的啊
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哎呀,不懂啊
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2012-04-09 16:30:46
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学习了!!
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2012-04-09 18:36:28
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2012-04-10 08:55:52
最好查一下文献哦,祝福好运~~~~~~~~~~~~~~~
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2012-04-09 18:50:20
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2012-04-11 07:50:24
银靶好贵的,没用过。金属靶一般都用直流溅射。溅射厚度则根据溅射功率,溅射时间来决定。功率与时间的话要根据真空腔真空度大小与通入Ar的气流大小来调节合适的。 比如真空度同样的条件下,通入Ar气多(100sccm)比60sccm的话 要达到同样厚度,前者功率肯定比后者小。
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12楼
2012-04-10 17:20:08
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lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
我是用30W,Ar气流量18SCCM,工作气压6*10-3TORR
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2013-11-11 22:56:11
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