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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 经验交流 » 直流溅射，制备电极
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lezhi2011

金虫 (小有名气)

[交流] 直流溅射，制备电极

常温下 直流溅射    溅射电极    银靶    一般激发的条件是多少，比如电压，电流等参数。第一次接触  不是很懂这玩意。

请各位大虾帮帮忙。

[ Last edited by lezhi2011 on 2012-4-9 at 10:45 ]
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1楼 2012-04-09 10:44:44
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见证2011

至尊木虫 (文坛精英)
★ ★
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
fds329: 金币+1, 感谢回帖 2012-04-10 08:55:34
去查查文献了吧！那个得到的信息多啊！毕竟肯定是有别人在做这个的啊
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2楼2012-04-09 16:19:36
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neu234

木虫之王 (文学泰斗)
★
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
哎呀，不懂啊
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3楼2012-04-09 16:30:46
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车有造

荣誉版主 (文坛精英)
★
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
学习了！！
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10楼2012-04-09 18:36:28
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userhung

禁虫 (文学泰斗)
★ ★
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
fds329: 金币+1, 感谢回帖 2012-04-10 08:55:52
最好查一下文献哦，祝福好运~~~~~~~~~~~~~~~
赞一下 回复此楼
11楼2012-04-09 18:50:20
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fulan2012

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
fds329: 金币+3, 鼓励新虫。欢迎常来 2012-04-11 07:50:24
银靶好贵的，没用过。金属靶一般都用直流溅射。溅射厚度则根据溅射功率，溅射时间来决定。功率与时间的话要根据真空腔真空度大小与通入Ar的气流大小来调节合适的。 比如真空度同样的条件下，通入Ar气多（100sccm）比60sccm的话 要达到同样厚度，前者功率肯定比后者小。
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12楼2012-04-10 17:20:08
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URHX5454

金虫 (小有名气)
★
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
我是用30W，Ar气流量18SCCM，工作气压6*10-3TORR
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13楼2013-11-11 22:56:11
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wenbin99034楼
2012-04-09 16:52   回复  
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
ansonal5楼
2012-04-09 17:04   回复  
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
ts_chenchao6楼
2012-04-09 17:10   回复  
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zhang73117楼
2012-04-09 17:27   回复  
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
祝福
ailingzhihun8楼
2012-04-09 17:53   回复  
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
20072008889楼
2012-04-09 18:11   回复  
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
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