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lezhi2011

金虫 (小有名气)


[交流] 直流溅射,制备电极

常温下 直流溅射    溅射电极    银靶    一般激发的条件是多少,比如电压,电流等参数。第一次接触  不是很懂这玩意。

请各位大虾帮帮忙。

[ Last edited by lezhi2011 on 2012-4-9 at 10:45 ]
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★ ★
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
fds329: 金币+1, 感谢回帖 2012-04-10 08:55:34
去查查文献了吧!那个得到的信息多啊!毕竟肯定是有别人在做这个的啊
2楼2012-04-09 16:19:36
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neu234

木虫之王 (文学泰斗)



lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
哎呀,不懂啊
3楼2012-04-09 16:30:46
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lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
学习了!!
10楼2012-04-09 18:36:28
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userhung

禁虫 (文学泰斗)


★ ★
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
fds329: 金币+1, 感谢回帖 2012-04-10 08:55:52
最好查一下文献哦,祝福好运~~~~~~~~~~~~~~~
11楼2012-04-09 18:50:20
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fulan2012

新虫 (初入文坛)


★ ★ ★ ★
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
fds329: 金币+3, 鼓励新虫。欢迎常来 2012-04-11 07:50:24
银靶好贵的,没用过。金属靶一般都用直流溅射。溅射厚度则根据溅射功率,溅射时间来决定。功率与时间的话要根据真空腔真空度大小与通入Ar的气流大小来调节合适的。 比如真空度同样的条件下,通入Ar气多(100sccm)比60sccm的话 要达到同样厚度,前者功率肯定比后者小。
12楼2012-04-10 17:20:08
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URHX5454

金虫 (小有名气)



lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
我是用30W,Ar气流量18SCCM,工作气压6*10-3TORR
13楼2013-11-11 22:56:11
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简单回复
2012-04-09 16:52   回复  
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
ansonal5楼
2012-04-09 17:04   回复  
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
2012-04-09 17:10   回复  
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
zhang73117楼
2012-04-09 17:27   回复  
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
祝福
2012-04-09 17:53   回复  
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
2012-04-09 18:11   回复  
lezhi2011(金币+1): 谢谢参与
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