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jinxiaoyun

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】在硅基上形成氧化铝模板时的电极问题??

本人想在硅片上沉积Al来制备氧化铝模板,再进行电沉积金属纳米线。
好多文献上都直接用Al/Si,我想问:Si的导电性好不好呀??阳极是接硅片上的还是接铝上的??要是这样的话后续的电沉积金属的阴极怎么接,还是接硅片上面吗????
希望大侠们多多帮助,不甚感激!!!
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380677864

木虫 (正式写手)

★ ★
jinxiaoyun(金币+1):谢谢交流 2010-09-19 14:16:29
yunruirui(金币+2):谢谢交流,欢迎常来 2010-09-19 16:58:25
你是要用电镀吗??我镀膜用的磁控溅射和CVD,磁控溅射应该可以解决你的问题,要是在基底镀非导体就用射频磁控溅射,导体就用直流溅射
2楼2010-09-19 08:20:37
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jinxiaoyun

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by 380677864 at 2010-09-19 08:20:37:
你是要用电镀吗??我镀膜用的磁控溅射和CVD,磁控溅射应该可以解决你的问题,要是在基底镀非导体就用射频磁控溅射,导体就用直流溅射

嗯 我要导体的,投磁控溅射。
还有我想问的是阳极氧化时阳极怎么接?直接连硅片上面吗,硅石半导体,导电性怎么样???还是连沉积的Al上面,好多文献都没讲。硅片直接浸入电解液中吗?
3楼2010-09-19 14:19:30
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380677864

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by jinxiaoyun at 2010-09-19 14:19:30:

嗯 我要导体的,投磁控溅射。
还有我想问的是阳极氧化时阳极怎么接?直接连硅片上面吗,硅石半导体,导电性怎么样???还是连沉积的Al上面,好多文献都没讲。硅片直接浸入电解液中吗?

你说的电化学沉积,我不懂,我就会磁控溅射和CVD,抱歉
4楼2010-09-19 14:34:22
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hzqllsun

木虫 (小有名气)

jinxiaoyun(金币+1):谢谢 2010-09-20 11:03:58
硅的导电性和它的掺杂有关,有的掺杂高的导电性比较好,电阻率在0.1左右,主要是看你怎么用。 我的建议还是接在铝上做吧,如果接在硅上做,太麻烦了,你还得考虑金半接触,不然一个或者两个肖特基结就会对你的电化学问题造成很大麻烦。问题就复杂了。
PermanentHeadDamage;ProudlyHalfDead;PigHasDream!
5楼2010-09-20 10:04:12
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