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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 物理化学 » 快速腐蚀硅片
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sinca479

金虫 (正式写手)

[求助] 快速腐蚀硅片

各位大虾，
在硅片上镀碳化硅膜，想把硅片腐蚀掉，有没有快速腐蚀的办法呢？
谢谢了
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1楼 2013-11-29 10:17:16
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zj12

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用低阻Ｐ型１００晶向的硅片做衬底，很容易腐蚀的
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5楼2013-11-29 13:38:41
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橡胶人

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以有两种方法：
1，强碱
2，氢氟酸
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2楼2013-11-29 11:01:27
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sinca479

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 橡胶人 at 2013-11-29 11:01:27
可以有两种方法：
1，强碱
2，氢氟酸

KOH腐蚀速率没有很快
HF酸腐蚀的也慢，
我们在硅片上镀了一层金属膜，想把硅片给弄掉，试了KOH和HF，效果都不是太好
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3楼2013-11-29 11:10:11
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幸福少爷

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
没看懂你的意思，你在硅片上镀一层膜，然后你想腐蚀硅片？你是想把硅衬底腐蚀掉留下这层膜吗？  
KOH 是各向异性腐蚀，比较慢
HF对Si腐蚀不明显
最理想的是用HNO3和HF的混合溶液，比例的话你自己取摸索吧，配比合适的话，这个腐蚀的很快的，整个硅片一会就没了，不过你要是保留金属膜的话有难度，因为强酸应该也会腐蚀金属，如果你是氮化硅膜的话，应该是可行的
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Youjustfocus
4楼2013-11-29 13:21:13
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