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sinca479

金虫 (正式写手)

[求助] 快速腐蚀硅片

各位大虾,
在硅片上镀碳化硅膜,想把硅片腐蚀掉,有没有快速腐蚀的办法呢?
谢谢了
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幸福少爷

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
没看懂你的意思,你在硅片上镀一层膜,然后你想腐蚀硅片?你是想把硅衬底腐蚀掉留下这层膜吗?  
KOH 是各向异性腐蚀,比较慢
HF对Si腐蚀不明显
最理想的是用HNO3和HF的混合溶液,比例的话你自己取摸索吧,配比合适的话,这个腐蚀的很快的,整个硅片一会就没了,不过你要是保留金属膜的话有难度,因为强酸应该也会腐蚀金属,如果你是氮化硅膜的话,应该是可行的
Youjustfocus
4楼2013-11-29 13:21:13
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查看全部 5 个回答

橡胶人

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以有两种方法:
1,强碱
2,氢氟酸
2楼2013-11-29 11:01:27
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sinca479

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 橡胶人 at 2013-11-29 11:01:27
可以有两种方法:
1,强碱
2,氢氟酸

KOH腐蚀速率没有很快
HF酸腐蚀的也慢,
我们在硅片上镀了一层金属膜,想把硅片给弄掉,试了KOH和HF,效果都不是太好
3楼2013-11-29 11:10:11
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zj12

金虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用低阻P型100晶向的硅片做衬底,很容易腐蚀的
5楼2013-11-29 13:38:41
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