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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 求助关于硅片腐蚀的各向异性
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大商股份

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助关于硅片腐蚀的各向异性

碱腐蚀硅有各向异性   酸腐蚀硅有吗？
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1楼 2013-04-30 18:34:09
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黑色幽默0

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
有，在HF酸溶液中可以制备硅纳米线
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2楼2013-04-30 21:20:25
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宇宙浪子(闽)

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 黑色幽默0 at 2013-04-30 21:20:25
有，在HF酸溶液中可以制备硅纳米线

恩，也有，你可以试试王水和氢氟酸，硫酸等
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踏踏实实，兢兢业业
3楼2013-05-01 15:26:44
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大商股份

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 黑色幽默0 at 2013-04-30 21:20:25
有，在HF酸溶液中可以制备硅纳米线

那浓盐酸呢 我们那浓盐酸泡过后 硅片上有条形凹坑 这是什么原因
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4楼2013-05-01 16:16:29
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大商股份

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 宇宙浪子(闽) at 2013-05-01 15:26:44
恩，也有，你可以试试王水和氢氟酸，硫酸等...

碱的各向异性机理有文献 你有关于酸腐蚀机理的文献吗？
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5楼2013-05-01 16:17:55
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乌夜啼

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
大商股份: 金币+5 2013-05-12 11:05:40
引用回帖:
5楼: Originally posted by 大商股份 at 2013-05-01 16:17:55
碱的各向异性机理有文献 你有关于酸腐蚀机理的文献吗？...

碱有，腐蚀速度：<111>小于<110>，小于<100>
酸没有，各向同性
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君子藏器，待时而动；穷则独善以垂文，达则奉时以骋绩！
6楼2013-05-02 15:55:22
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zjj221

铁虫 (初入文坛)
疑问
各向异性 是单晶，多晶，还是单晶在碱下才，有 111 100 110 晶向腐蚀速度不同
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7楼2013-05-04 04:37:25
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宇宙浪子(闽)

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 宇宙浪子(闽) at 2013-05-01 15:26:44
恩，也有，你可以试试王水和氢氟酸，硫酸等...

知网上有，你也可以看提纯多晶硅的论文，里面都有涉及到的
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踏踏实实，兢兢业业
8楼2013-05-04 09:47:03
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大商股份

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by zjj221 at 2013-05-04 04:37:25
疑问
各向异性 是单晶，多晶，还是单晶在碱下才，有 111 100 110 晶向腐蚀速度不同

硅在碱腐蚀情况下都有各向异性   单晶多晶应该都一样 不过碱浓度大时就各向同性了
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9楼2013-05-12 11:04:27
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