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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射制备CZTS薄膜
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wwnjit

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射制备CZTS薄膜 已有2人参与

最近买了一块CZTS靶材，采用磁控溅射制备，发现薄膜很难长厚，生长速率太慢。请问有什么好的解决方案？
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1楼 2013-10-20 21:10:54
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
可否透露一下在哪里买的，多少钱，

[ 发自小木虫客户端 ]
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PVD ALD CVD
7楼2014-12-11 11:26:39
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linxi5925

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

升高靶电流
采用高能脉冲磁控溅射
减小靶基距
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2楼2013-11-10 20:10:17
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zemix

铜虫 (小有名气)
买一块靶材，比例设计好的？
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good good study, day day up
4楼2013-11-12 10:10:40
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wangyuwei428

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你做的样品什么颜色？？？？
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把握每一分钟
5楼2014-04-28 14:57:48
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