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等离子体刻蚀
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| 为什么使用ICP刻蚀厚石英基板时刻不动，石英基板大约20mm厚，放在刻蚀机里刻蚀发现根本刻不下去，如果薄片的话可以，请问这是为什么？有什么方法可以刻蚀厚的基板，有人说把下电极用绝缘材料遮挡一部分把电场集中一下，请问这样可以吗？望专家指导，谢谢！ |
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