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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 等离子体刻蚀
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chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 等离子体刻蚀

为什么使用ICP刻蚀厚石英基板时刻不动，石英基板大约20mm厚，放在刻蚀机里刻蚀发现根本刻不下去，如果薄片的话可以，请问这是为什么？有什么方法可以刻蚀厚的基板，有人说把下电极用绝缘材料遮挡一部分把电场集中一下，请问这样可以吗？望专家指导，谢谢！
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1楼 2013-09-13 16:42:41
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飘蓬子

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
请问是否给下电极加的偏压是直流，如果是直流，偏压不能applied到20 mm石英基底表面，所以不能刻蚀！可以考虑用rf偏压。

但如果你本来用的就是RF偏压，就很难解释了。

如果是RF偏压，遮挡下电极的话 偏压会升高，应该会好一点！
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chc33
我在努力中！
2楼2013-09-13 16:52:35
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chc33

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 飘蓬子 at 2013-09-13 16:52:35
请问是否给下电极加的偏压是直流，如果是直流，偏压不能applied到20 mm石英基底表面，所以不能刻蚀！可以考虑用rf偏压。

但如果你本来用的就是RF偏压，就很难解释了。

如果是RF偏压，遮挡下电极的话 偏压会升 ...

您好，我们用的是ICP刻蚀机（上下两个独立的13.56MHZ射频源），下电极是由1KW射频源提供的直流偏压。请问您说的rf偏压是指什么？如果遮挡下电极请问用什么遮挡呢？谢谢您的指导！！
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3楼2013-09-14 16:12:09
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飘蓬子

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我说的RF就是radio frequency. 按你所述，你的下电极加的应该是13.56 MHz RF偏压.
如果遮挡下电极的话 ，可以用耐热kapton胶带，也可以用聚四氟乙烯板遮住部分下电极， 这样下电极子偏压会升高！也许会管用的！
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我在努力中！
4楼2013-09-14 19:13:51
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chc33

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 飘蓬子 at 2013-09-14 19:13:51
我说的RF就是radio frequency. 按你所述，你的下电极加的应该是13.56 MHz RF偏压.
如果遮挡下电极的话 ，可以用耐热kapton胶带，也可以用聚四氟乙烯板遮住部分下电极， 这样下电极子偏压会升高！也许会管用的！

谢谢！我试下！
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5楼2013-09-16 07:23:16
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