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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 等离子体刻蚀

为什么使用ICP刻蚀厚石英基板时刻不动,石英基板大约20mm厚,放在刻蚀机里刻蚀发现根本刻不下去,如果薄片的话可以,请问这是为什么?有什么方法可以刻蚀厚的基板,有人说把下电极用绝缘材料遮挡一部分把电场集中一下,请问这样可以吗?望专家指导,谢谢!
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飘蓬子

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
请问是否给下电极加的偏压是直流,如果是直流,偏压不能applied到20 mm石英基底表面,所以不能刻蚀!可以考虑用rf偏压。

但如果你本来用的就是RF偏压,就很难解释了。

如果是RF偏压,遮挡下电极的话 偏压会升高,应该会好一点!

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

我在努力中!
2楼2013-09-13 16:52:35
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chc33

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 飘蓬子 at 2013-09-13 16:52:35
请问是否给下电极加的偏压是直流,如果是直流,偏压不能applied到20 mm石英基底表面,所以不能刻蚀!可以考虑用rf偏压。

但如果你本来用的就是RF偏压,就很难解释了。

如果是RF偏压,遮挡下电极的话 偏压会升 ...

您好,我们用的是ICP刻蚀机(上下两个独立的13.56MHZ射频源),下电极是由1KW射频源提供的直流偏压。请问您说的rf偏压是指什么?如果遮挡下电极请问用什么遮挡呢?谢谢您的指导!!
3楼2013-09-14 16:12:09
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飘蓬子

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我说的RF就是radio frequency. 按你所述,你的下电极加的应该是13.56 MHz RF偏压.
如果遮挡下电极的话 ,可以用耐热kapton胶带,也可以用聚四氟乙烯板遮住部分下电极, 这样下电极子偏压会升高!也许会管用的!
我在努力中!
4楼2013-09-14 19:13:51
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chc33

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 飘蓬子 at 2013-09-14 19:13:51
我说的RF就是radio frequency. 按你所述,你的下电极加的应该是13.56 MHz RF偏压.
如果遮挡下电极的话 ,可以用耐热kapton胶带,也可以用聚四氟乙烯板遮住部分下电极, 这样下电极子偏压会升高!也许会管用的!

谢谢!我试下!
5楼2013-09-16 07:23:16
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