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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 信息咨询 » 硅基上溅射金属薄膜应用于什么地方？
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kechengli

金虫 (小有名气)

[求助] 硅基上溅射金属薄膜应用于什么地方？

RT，有没有大神传我一些经典的文献，我想了解一些背景知识
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1楼 2013-06-18 09:43:24
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liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

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【答案】应助回帖

★
kechengli: 金币+1, ★有帮助 2013-06-20 15:30:22
半导体器件方面应用很多啊
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2楼2013-06-18 13:08:12
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kechengli

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by liu2004m at 2013-06-18 13:08:12
半导体器件方面应用很多啊

能不能具体点呢
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3楼2013-06-18 14:22:53
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dzwu

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
kechengli: 金币+1, 博学EPI+1 2013-06-20 11:07:21
比如MEMS中的电容平面电极，还有金属薄膜光刻后可以做导线等
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4楼2013-06-19 08:35:36
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kechengli

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by dzwu at 2013-06-19 08:35:36
比如MEMS中的电容平面电极，还有金属薄膜光刻后可以做导线等

THX，有没有关于应用背景的综述或者文献可以推荐下的
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5楼2013-06-19 08:57:08
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