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汕头大学海洋科学接受调剂
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kechengli

金虫 (小有名气)

[求助] 硅基上溅射金属薄膜应用于什么地方?

RT,有没有大神传我一些经典的文献,我想了解一些背景知识
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liu2004m

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【答案】应助回帖


kechengli: 金币+1, 有帮助 2013-06-20 15:30:22
半导体器件方面应用很多啊
2楼2013-06-18 13:08:12
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kechengli

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by liu2004m at 2013-06-18 13:08:12
半导体器件方面应用很多啊

能不能具体点呢
3楼2013-06-18 14:22:53
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dzwu

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


kechengli: 金币+1, 博学EPI+1 2013-06-20 11:07:21
比如MEMS中的电容平面电极,还有金属薄膜光刻后可以做导线等
4楼2013-06-19 08:35:36
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kechengli

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by dzwu at 2013-06-19 08:35:36
比如MEMS中的电容平面电极,还有金属薄膜光刻后可以做导线等

THX,有没有关于应用背景的综述或者文献可以推荐下的
5楼2013-06-19 08:57:08
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