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可以与硅或者二氧化硅反应的金属
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qxysummer
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[交流]
可以与硅或者二氧化硅反应的金属
想在硅基片上镀一层金属薄膜,最好可与硅反应,或者与二氧化硅反应也行求助,选什么材料!!!
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2012-11-08 21:58:17
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yingzicai
at 2012-11-09 11:44:56
铝
铝跟氧化硅的反应条件好像要高温无氧把~
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3楼
2012-11-09 11:58:37
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所谓的反应你指的是什么?相互渗透形成合金相?还是退火以后可以欧姆接触?还是你要做键合需要号的结合力?或者是要形成硅化物?
如果是金属硅化物的话,那有很多,Ti,W就是典型的。
你这个要把目的说清楚才好帮你选择。
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qxysummer
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2012-11-09 13:17:35
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yswyx
at 2012-11-09 13:17:35
所谓的反应你指的是什么?相互渗透形成合金相?还是退火以后可以欧姆接触?还是你要做键合需要号的结合力?或者是要形成硅化物?
如果是金属硅化物的话,那有很多,Ti,W就是典型的。
你这个要把目的说清楚才 ...
非常感谢,反应是想相互渗透形成化合物。
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9楼
2012-11-10 10:59:15
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yswyx
at 2012-11-09 13:17:35
所谓的反应你指的是什么?相互渗透形成合金相?还是退火以后可以欧姆接触?还是你要做键合需要号的结合力?或者是要形成硅化物?
如果是金属硅化物的话,那有很多,Ti,W就是典型的。
你这个要把目的说清楚才 ...
那Mo可以吗 您说的Ti和W与硅反应的条件是什么呢 比如多高的温度?
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10楼
2012-11-10 11:10:24
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qxysummer
at 2012-11-10 11:10:24
那Mo可以吗 您说的Ti和W与硅反应的条件是什么呢 比如多高的温度?...
Mo的话,理论上是可以溅射金属再高温退火形成硅化物的,但是没见过人做过。
Ti和W都可以通过上述方法做,搜一下论文或者翻翻书好了,工艺条件实在记不住
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11楼
2012-11-11 02:21:28
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