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qxysummer

金虫 (初入文坛)


[交流] 可以与硅或者二氧化硅反应的金属

想在硅基片上镀一层金属薄膜,最好可与硅反应,或者与二氧化硅反应也行求助,选什么材料!!!
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sh#1989@

木虫 (小有名气)



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引用回帖:
2楼: Originally posted by yingzicai at 2012-11-09 11:44:56

铝跟氧化硅的反应条件好像要高温无氧把~
3楼2012-11-09 11:58:37
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
所谓的反应你指的是什么?相互渗透形成合金相?还是退火以后可以欧姆接触?还是你要做键合需要号的结合力?或者是要形成硅化物?

如果是金属硅化物的话,那有很多,Ti,W就是典型的。

你这个要把目的说清楚才好帮你选择。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

7楼2012-11-09 13:17:35
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qxysummer

金虫 (初入文坛)


引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-09 13:17:35
所谓的反应你指的是什么?相互渗透形成合金相?还是退火以后可以欧姆接触?还是你要做键合需要号的结合力?或者是要形成硅化物?

如果是金属硅化物的话,那有很多,Ti,W就是典型的。

你这个要把目的说清楚才 ...

非常感谢,反应是想相互渗透形成化合物。
9楼2012-11-10 10:59:15
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qxysummer

金虫 (初入文坛)


送鲜花一朵
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-09 13:17:35
所谓的反应你指的是什么?相互渗透形成合金相?还是退火以后可以欧姆接触?还是你要做键合需要号的结合力?或者是要形成硅化物?

如果是金属硅化物的话,那有很多,Ti,W就是典型的。

你这个要把目的说清楚才 ...

那Mo可以吗 您说的Ti和W与硅反应的条件是什么呢 比如多高的温度?
10楼2012-11-10 11:10:24
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by qxysummer at 2012-11-10 11:10:24
那Mo可以吗 您说的Ti和W与硅反应的条件是什么呢 比如多高的温度?...

Mo的话,理论上是可以溅射金属再高温退火形成硅化物的,但是没见过人做过。
Ti和W都可以通过上述方法做,搜一下论文或者翻翻书好了,工艺条件实在记不住
11楼2012-11-11 02:21:28
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yingzicai2楼
2012-11-09 11:44   回复  
刁森森4楼
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shanjiji5楼
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davai6楼
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芯汪8楼
2012-11-09 13:18   回复  
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