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qxysummer

金虫 (初入文坛)

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[交流] 可以与硅或者二氧化硅反应的金属

想在硅基片上镀一层金属薄膜，最好可与硅反应，或者与二氧化硅反应也行求助，选什么材料！！！

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1楼 2012-11-08 21:58:17

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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

sh#1989@

木虫 (小有名气)

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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

2楼: Originally posted by yingzicai at 2012-11-09 11:44:56
铝

铝跟氧化硅的反应条件好像要高温无氧把~

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3楼2012-11-09 11:58:37

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yswyx

专家顾问 (著名写手)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

所谓的反应你指的是什么？相互渗透形成合金相？还是退火以后可以欧姆接触？还是你要做键合需要号的结合力？或者是要形成硅化物？

如果是金属硅化物的话，那有很多，Ti，W就是典型的。

你这个要把目的说清楚才好帮你选择。

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qxysummer

7楼2012-11-09 13:17:35

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qxysummer

金虫 (初入文坛)

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引用回帖:

7楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-09 13:17:35
所谓的反应你指的是什么？相互渗透形成合金相？还是退火以后可以欧姆接触？还是你要做键合需要号的结合力？或者是要形成硅化物？

如果是金属硅化物的话，那有很多，Ti，W就是典型的。

你这个要把目的说清楚才 ...

非常感谢，反应是想相互渗透形成化合物。

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9楼2012-11-10 10:59:15

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