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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 可以与硅或者二氧化硅反应的金属
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qxysummer

金虫 (初入文坛)

[交流] 可以与硅或者二氧化硅反应的金属

想在硅基片上镀一层金属薄膜，最好可与硅反应，或者与二氧化硅反应也行求助，选什么材料！！！
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1楼2012-11-08 21:58:17
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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10楼: Originally posted by qxysummer at 2012-11-10 11:10:24
那Mo可以吗 您说的Ti和W与硅反应的条件是什么呢 比如多高的温度？...

Mo的话，理论上是可以溅射金属再高温退火形成硅化物的，但是没见过人做过。
Ti和W都可以通过上述方法做，搜一下论文或者翻翻书好了，工艺条件实在记不住
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11楼2012-11-11 02:21:28
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sh#1989@

木虫 (小有名气)
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2楼: Originally posted by yingzicai at 2012-11-09 11:44:56
铝

铝跟氧化硅的反应条件好像要高温无氧把~
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3楼2012-11-09 11:58:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
所谓的反应你指的是什么？相互渗透形成合金相？还是退火以后可以欧姆接触？还是你要做键合需要号的结合力？或者是要形成硅化物？

如果是金属硅化物的话，那有很多，Ti，W就是典型的。

你这个要把目的说清楚才好帮你选择。
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qxysummer
7楼2012-11-09 13:17:35
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qxysummer

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-09 13:17:35
所谓的反应你指的是什么？相互渗透形成合金相？还是退火以后可以欧姆接触？还是你要做键合需要号的结合力？或者是要形成硅化物？

如果是金属硅化物的话，那有很多，Ti，W就是典型的。

你这个要把目的说清楚才 ...

非常感谢，反应是想相互渗透形成化合物。
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9楼2012-11-10 10:59:15
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