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qxysummer

金虫 (初入文坛)

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[交流] 可以与硅或者二氧化硅反应的金属

想在硅基片上镀一层金属薄膜，最好可与硅反应，或者与二氧化硅反应也行求助，选什么材料！！！

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1楼 2012-11-08 21:58:17

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qxysummer

金虫 (初入文坛)

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引用回帖:

7楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-09 13:17:35
所谓的反应你指的是什么？相互渗透形成合金相？还是退火以后可以欧姆接触？还是你要做键合需要号的结合力？或者是要形成硅化物？

如果是金属硅化物的话，那有很多，Ti，W就是典型的。

你这个要把目的说清楚才 ...

那Mo可以吗您说的Ti和W与硅反应的条件是什么呢比如多高的温度？