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cdj2593木虫 (正式写手)
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溅射金属薄膜高温焙烧后氧化
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本人通过溅射方法制备了金属薄膜，包括金和银，高温焙烧后，700度，发现电阻达到兆欧级别。原是想把沉积的薄膜作为高温操作下的金属电极。请问如何避免氧化，或者电阻增加不是氧化导致的，那么可能原因是什么？根据文献金属氧化物一般高温下就会分解，难道是因为溅射的薄膜是纳米级的原因，薄膜在100nm左右。请有过类似经验的帮忙分析一下，谢谢了 |
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