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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 溅射金属薄膜高温焙烧后氧化
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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[求助] 溅射金属薄膜高温焙烧后氧化

本人通过溅射方法制备了金属薄膜，包括金和银，高温焙烧后，700度，发现电阻达到兆欧级别。原是想把沉积的薄膜作为高温操作下的金属电极。请问如何避免氧化，或者电阻增加不是氧化导致的，那么可能原因是什么？根据文献金属氧化物一般高温下就会分解，难道是因为溅射的薄膜是纳米级的原因，薄膜在100nm左右。请有过类似经验的帮忙分析一下，谢谢了
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1楼 2013-05-04 14:43:51
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zyoypx

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
cdj2593: 金币+10, ★有帮助, 谢谢，但是我还沉积了一层薄膜，遇还原气氛结构就破坏了，而且我的测试我过程要有氧存在才行 2013-05-05 13:21:39
可以在含氢气的氛围中烧结，防止氧化

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2013-05-05 00:04:45
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
cdj2593: 金币+10, ★有帮助, 谢谢啊 2013-05-04 15:40:08
银不隔氧的话就算室温也很容易氧化嗯，我溅射100nm在空气里放两天就有点变色了，金的话不知道你用的基底是啥嗯，会不会高温下胀裂了或者咋样的，烧完前后测个扫描看看吧
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2楼2013-05-04 15:09:02
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rnchen

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
cdj2593: 金币+30, ★★★很有帮助, 谢谢，证明是一个可尝试的方法 2013-05-24 22:09:25
我觉得可能是纳米尺度的东西不稳定，放在高温下容易氧化，你可以尝试着做厚一点
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4楼2013-05-24 22:08:20
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