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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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valane

木虫 (初入文坛)

[求助] 如何腐蚀掉硅,但不腐蚀镀在上面的金属镍

如题
如何腐蚀掉硅,但不腐蚀镀在上面的金属镍
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
要是二氧化硅可以用浓碱除去,单质硅这个应该实现不了。
麦麦爸爸爱小牛
2楼2012-11-06 20:14:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
yanhualover: 金币+1, 见解独到,值得鼓励。 2013-02-04 06:22:41
楼上说反了,浓碱恰恰是腐蚀硅的,腐蚀SiO的是HF,浓碱对于SiO的腐蚀速率很慢。
你可以用KOH腐蚀硅,而镍本身是耐浓碱的。但是镍本身肯定会有一定的腐蚀速率,所以你要实验一下Ni和硅的腐蚀选择比,然后根据腐蚀多少硅来决定做多厚的镍。
3楼2012-11-06 21:52:22
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knight5152

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可以用KOH腐蚀硅,但是镍本身肯定会有一定的腐蚀速率,所以你要实验一下Ni和硅的腐蚀选择比,然后根据腐蚀多少硅来决定做多厚的镍
4楼2012-11-13 10:10:34
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knight5152

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

KOH可以腐蚀si,测试20%,30%,50%……对si的腐蚀
5楼2012-11-13 10:14:50
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醋人

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

还是试试HF,但是浓度应该小于10%,F有毒,注意试验完处理好
精专业、强意志、壮身体
6楼2013-02-03 20:26:25
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limeiyu53

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这不就是光刻吗?
7楼2013-02-04 08:01:46
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