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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 请教一下如何腐蚀（111）晶面硅的问题
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yzwudi321

新虫 (初入文坛)

[交流] 请教一下如何腐蚀（111）晶面硅的问题 已有2人参与

我现在需要腐蚀（111）晶面的硅，请问下应该用什么腐蚀液和掩膜，我要腐蚀200-300微米，谢谢
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1楼 2015-01-12 19:36:54
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exciting73

金虫 (著名写手)
不能腐蚀110/100吗？还是说能把111腐蚀掉就可以，其他的也可以腐蚀
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2楼2015-01-12 20:33:13
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yzwudi321

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-12 20:33:13
不能腐蚀110/100吗？还是说能把111腐蚀掉就可以，其他的也可以腐蚀

我的片子衬底是（111）的，要腐蚀一个腔出来，所以需要有掩膜
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3楼2015-01-12 20:50:42
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yzwudi321 at 2015-01-12 20:50:42
我的片子衬底是（111）的，要腐蚀一个腔出来，所以需要有掩膜...

用光刻胶就可以
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4楼2015-01-13 11:04:08
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yzwudi321

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-13 11:04:08
用光刻胶就可以...

正胶吗？我试过胶会掉，应该怎么处理？
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5楼2015-01-13 12:05:40
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exciting73

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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5楼: Originally posted by yzwudi321 at 2015-01-13 12:05:40
正胶吗？我试过胶会掉，应该怎么处理？...

负胶好一些。站内把邮箱留给我吧，在这里写具体了会被封贴吧。
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6楼2015-01-13 13:01:17
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lzm198988
7楼2015-01-13 16:07:46
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