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大水杯

木虫 (著名写手)

[交流] 请教各位虫友，AlN薄膜耐强碱腐蚀吗？

小弟想利用AlN薄膜的压电性，所以，前不久刚通过直流磁控反应溅射做了几片AlN薄膜，XRD结果测试也有（002）取向的衍射峰，但当我我把做好的AlN薄膜放入AZ300的显影液里时，薄膜被慢慢腐蚀掉了，大约两分钟后就看到清晰的腐蚀痕迹。看过相关文献介绍说，AlN很稳定，可以耐强酸、强碱，但不知AlN为何会被显影液腐蚀掉（显影液显弱碱性），难道自己制备的薄膜不是纯正的AlN。求哪位老师、师哥or师姐给指点一下。
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xiaojun111

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1楼 2012-04-28 17:21:46
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kirinwt19891

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★
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大水杯: 金币+2 2013-05-17 23:13:10
AlN腐蚀正巧做过系列实验，出现过楼主一样的问题。很不耐碱性，但是耐酸。文献上有可能瞎说。
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6楼2013-01-14 10:37:16
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普通回帖

MANOWAR

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。
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2楼2012-04-29 17:41:20
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大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。

谢谢指教
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3楼2012-04-29 22:04:26
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大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。

谢谢您的解答，我还想顺便问一下，您觉得用什么方法生长的材料较好，可以用了做实验？
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4楼2012-04-29 22:15:47
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MANOWAR

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 大水杯 at 2012-04-29 22:15:47:
谢谢您的解答，我还想顺便问一下，您觉得用什么方法生长的材料较好，可以用了做实验？

说实话，用哪种方式好我不敢确定，因为我知识有限。不过我想，相比于磁控溅射，采用MOCVD或者MBE来生长薄膜，一般来说质量会更好一些。但是AlN一般都长不厚，而且如果直接在衬底上生长出来的AlN应该也都是小晶粒，最好能有缓冲层。XRD看的话，最好只有AlN（0002）峰以及衬底或者缓冲层的峰。如果出现多个AlN的峰，那说明薄膜取向不一致，恐怕做腐蚀的话还会出现之前的问题。
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5楼2012-04-30 10:03:05
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大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by kirinwt19891 at 2013-01-14 10:37:16
AlN腐蚀正巧做过系列实验，出现过楼主一样的问题。很不耐碱性，但是耐酸。文献上有可能瞎说。

请问你是怎么制备的AlN
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7楼2013-01-14 13:08:22
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kirinwt19891

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
大水杯: 金币+1 2013-05-17 23:13:17
引用回帖:
7楼: Originally posted by 大水杯 at 2013-01-14 13:08:22
请问你是怎么制备的AlN...

磁控溅射的方式。 Al靶材  N2气氛。
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8楼2013-01-15 16:10:52
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beatouyoo

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
大水杯: 金币+2 2013-05-17 23:13:27
AZ300 can etch AlN. You need to use CD30 as developer.
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9楼2013-05-17 05:55:31
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大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by beatouyoo at 2013-05-17 05:55:31
AZ300 can etch AlN. You need to use CD30 as developer.

谢谢你
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10楼2013-05-17 23:12:28
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andyrenp

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by kirinwt19891 at 2013-01-14 10:37:16
AlN腐蚀正巧做过系列实验，出现过楼主一样的问题。很不耐碱性，但是耐酸。文献上有可能瞎说。

常温下做的腐蚀吗？有没有做过高温
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11楼2013-07-15 15:03:05
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xiaojun111

禁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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本帖内容被屏蔽
12楼2013-11-17 11:28:47
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大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by xiaojun111 at 2013-11-17 11:28:47
我也是做AlN，用作绝缘薄膜，现在刚刚进行试验，也是采用磁控溅射方法生长的，看到H3PO4可以做腐蚀啊，马上就要试一下，可以保持联系，方便交流啊。小弟：flyan2011@sina.cn

磷酸我也试过，如果稍微加点热，腐蚀能快点
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13楼2013-11-17 12:30:17
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
因为显影液中存在TMAH，而TMAH是可以腐蚀AlN的。这个实验我自己做过，用于AlN的图形化
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14楼2014-08-17 22:48:23
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大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by hongliushu03 at 2014-08-17 22:48:23
因为显影液中存在TMAH，而TMAH是可以腐蚀AlN的。这个实验我自己做过，用于AlN的图形化

谢谢你呀

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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15楼2014-08-17 23:49:33
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我最红

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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14楼: Originally posted by hongliushu03 at 2014-08-17 22:48:23
因为显影液中存在TMAH，而TMAH是可以腐蚀AlN的。这个实验我自己做过，用于AlN的图形化

请问速率大概多少？以及需要加热么？谢谢！
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16楼2017-01-09 19:06:20
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